标准搜索结果: 'GB 28654-2012'
| 标准编号 | GB 28654-2012 (GB28654-2012) | | 中文名称 | 工业三氯氢硅 | | 英文名称 | [GB/T 28654-2012] Trichlorosilane for industrial use | | 行业 | 国家标准 | | 中标分类 | G14 | | 国际标准分类 | 71.060.99 | | 字数估计 | 11,110 | | 引用标准 | GB 190-2009; GB/T 6678; GB/T 6680; GB/T 8170; GB/T 9722-2006; GB/T 11446.1-1997; JT 618-2004 | | 标准依据 | 国家标准公告2012年第24号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了工业三氯氢硅产品的要求、试验方法、检验规则以及标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于主要作为多晶硅和硅烷偶联剂等原料的工业三氯氢硅。 | GB 28654-2012
ICS 71.060.99
G14
中华人民共和国国家标准
工 业 三 氯 氢 硅
2012-09-03发布
2013-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准的第8章、第9章、第10章内容为强制性的,其余为推荐性的。
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国石油和化学工业联合会提出。
本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1)归口。
本标准起草单位:浙江新安化工集团股份有限公司、中海油天津化工研究设计院、泰安光明硅业有
限公司、荆州市华翔化工有限公司、成都化工股份有限公司、山东新龙硅业科技有限公司、河北邢矿硅业
科技有限公司。
本标准主要起草人:叶世胜、胡家啟、杨裴、范国强、李长亭、张莹、韩科、杨秀玲、孟祥考。
工 业 三 氯 氢 硅
警告:本试验方法中三氯氢硅试样具有挥发性,其蒸气可与空气形成爆炸性混合物,试样极易水解
产生氯化氢气体,对人体的呼吸系统造成危害,所以操作需在通风良好的通风橱中进行,如溅到皮肤上
应立即用大量水冲洗,严重者应立即就医。
1 范围
本标准规定了工业三氯氢硅产品的要求、试验方法、检验规则以及标志、标签、包装、运输、贮存和
安全。
本标准适用于主要作为多晶硅和硅烷偶联剂等原料的工业三氯氢硅。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190-2009 危险货物包装标志
GB/T 6678 化工产品采样总则
GB/T 6680 液体化工产品采样通则
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示方法和判定
GB/T 9722-2006 化学试剂 气相色谱法通则
GB/T 11446.1-1997 电子级水
JT618-2004 汽车运输、装卸危险货物作业规程
3 分子式和相对分子质量
分子式:SiHCl3
相对分子质量:135.45(按2007年国际相对原子质量)
4 分类和命名
工业三氯氢硅分为Ⅰ、Ⅱ两类:
---Ⅰ类:用于生产多晶硅;
---Ⅱ类:用于生产硅烷偶联剂。
5 要求
5.1 外观:无色透明液体。
5.2 工业三氯氢硅按本标准规定的试验方法检测应符合表1技术要求。
表1 技术要求
项 目
Ⅰ类 Ⅱ类
优级品 一级品 合格品 优级品 一级品 合格品
三氯氢硅w/% ≥ 99.50 99.00 98.50 99.50 99.00 98.50
二氯二氢硅w/% ≤ 0.10 0.30 0.50 0.20 0.30 0.50
四氯化硅w/% ≤ 0.25 0.50 0.70 0.25 0.50 0.70
氯硅烷聚合物w/% ≤ 0.05 0.10 0.30 0.05 0.10 0.30
硼(B)/(mg/kg) ≤ 0.10 0.30 0.50 - - -
6 试验方法
6.1 警告
本试验方法中使用的部分试剂具有腐蚀性,操作时须小心谨慎 如溅到皮肤上应立即用水冲洗,严
重者应立即就医。
6.2 一般规定
本标准所用的水,在没有注明其他要求时,均指GB/T 11446.1-1997规定的EW-Ⅰ型电子级水。
6.3 外观检验
在自然光下,于比色管中用目视法判定外观。
6.4 工业三氯氢硅中各组分含量的测定
6.4.1 气相色谱法测定二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷聚合物的含量
6.4.1.1 方法提要
采用气相色谱仪,在规定的条件下,将适量的试样注入配有热导检测器(TCD)的气相色谱仪中,
二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷聚合物被色谱柱有效地分离,通过面积归一化法计算二氯二氢
硅、三氯氢硅、四氯化硅、氯硅烷聚合物各组分的含量。
6.4.1.2 试剂与材料
载气:氢气,纯度≥99.99%(体积分数),需用硅胶和分子筛干燥净化。
6.4.1.3 仪器
6.4.1.3.1 气相色谱仪:配有热导检测器的气相色谱仪,整机的灵敏度和稳定性符合GB/T 9722-
2006的要求。
6.4.1.3.2 色谱工作站或数据处理机。
6.4.1.3.3 微量注射器:0.01mL。
6.4.1.3.4 色谱柱:100%二甲基聚硅氧烷或能达到同等分离程度的毛细管柱。
6.4.1.4 取样
采样用取样瓶应清洁干燥,取样时应尽量避免与空气接触,取样结束后应立即加盖密封、冷藏保存。
6.4.1.5 测定
气相色谱仪启动后进行必要的调节,以达到适宜的色谱操作条件和其他适宜的条件。当色谱仪达
到设定的操作条件并稳定后,进行样品的测定。用色谱数据处理机或色谱工作站记录各组分的峰面积,
对其中的空气峰和氯化氢峰进行锁定处理,不参与结果的计算,推荐的气相色谱测试条件参见附录A。
6.4.1.6 结果计算
工业三氯氢硅中各组分的含量以质量分数wi计,按式(1)计算:
wi= Ai∑Ai×
100% (1)
式中:
Ai ---工业三氯氢硅中各组分的峰面积;
∑Ai---工业三氯氢硅中全部组分的峰面积之和(空气峰、氯化氢峰除外)。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果,两次平行测定结果的绝对差值三氯氢硅不大于
0.20%;二氯二氢硅不大于0.05%;四氯化硅优级品、一级品不大于0.05%,合格品不大于0.10%;氯
硅烷聚合物优级品、一级品不大于0.02%,合格品不大于0.05%。
6.4.2 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定工业三氯氢硅中的硼含量
6.4.2.1 方法提要
试样经氢氟酸溶解后,采用电感耦合等离子体质谱仪,硼元素在常规的工作模式下测定其同位素的
每秒计数值(CPS强度),其CPS强度与试样中硼元素的浓度成正比,通过CPS强度来测定试样中硼元
素的含量。
6.4.2.2 试剂
6.4.2.2.1 氢氟酸:电子级(UP-S),ρ< 0.001mg/L。
6.4.2.2.2 硼标准贮备液:硼标准溶液A(有证标准物质),1mL溶液含硼(B)1mg。
6.4.2.2.3 硼标准溶液B:1mL溶液含硼(B)0.010mg。
用移液管移取1mL硼标准贮备液于100mL容量瓶中,用水稀释至刻度,摇匀。此溶液现用现配。
6.4.2.2.4 硼标准溶液C:1mL溶液含硼(B)0.0001mg。
用移液管移取1mL硼标准溶液B(6.4.2.2.3)于100mL容量瓶中,用水稀释至刻度,摇匀。此溶
液现用现配。
6.4.2.3 仪器和材料
6.4.2.3.1 载气:高纯氩气,纯度≥99.999%(体积分数)。
6.4.2.3.2 电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS),具耐氢氟酸进样系统。
6.4.2.3.3 塑料巴氏吸管。
6.4.2.3.4 塑料容量瓶。
6.4.2.3.5 移液枪:0.1mL~1mL。
6.4.2.4 分析步骤
6.4.2.4.1 工作曲线的绘制
用移液枪移取0.00mL、0.10mL、0.20mL、0.50mL、1.00mL、1.50mL硼标准溶液C(6.4.2.2.4)
于100mL塑料容量瓶中,用塑料巴氏吸管移取1.00mL氢氟酸,用水稀释至刻度,摇匀。测量标准溶
液的强度,减去零浓度校准溶液的强度即为净强度。以硼元素的浓度为横坐标,以净强度为纵坐标,绘
制工作曲线。
6.4.2.4.2 试验溶液的制备
向洁净的具有良好密封性的具盖塑料瓶中加入约50mL的水,称量。再用干净的带刻度的塑料巴
氏吸管移取0.5mL的待测试样滴加到水中,迅速盖上塑料瓶盖,振荡,使待测液充分水解完全。再称
量整个塑料瓶的质量,两次称量的数值之差即为所移取的三氯氢硅的质量。再用塑料巴氏吸管移取
2.5mL的氢氟酸滴加到上述溶液中,盖上塑料瓶盖,振荡,使其中的白色悬浮物充分溶解至溶液清澈
为止。将此溶液转移至250mL的塑料容量瓶中,用水稀释至刻度,摇匀。
同时做空白试验,空白试验除不加试样外,其他操作和加入的试剂与试验溶液相同。
6.4.2.4.3 测定
开启电感耦合等离子体质谱仪,调谐仪器参数,使仪器的各项指标达到测定的要求,分别对空白溶
液、标准系列、试验溶液进行测定。硼元素推荐的同位素质量数和推荐的仪器操作参数参见附录B。
6.4.2.5 结果计算
工业三氯氢硅中的硼含量以质量分数w5 计,数值以mg/kg表示,按式(2)计算:
w5=
(ρ1-ρ0)×V×10-3
(2)
式中:
ρ1---从工作曲线上查得的试验溶液浓度的数值,单位为微克每升(μg/L);
ρ0---从工作曲线上查得的空白试验溶液浓度的数值,单位为微克每升(μg/L);
V ---试验溶液定容体积的数值,单位为毫升(mL);
m---试料质量的数值,单位为克(g)。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果,两次平行测定结果的绝对差值不大于0.02mg/kg。
7 检验规则
7.1 本标准规定的所有项目为出厂检验项目,应逐批检验。
7.2 生产企业用相同材料,基本相同的生产条件,连续生产或同一班组生产同等质量的产品为一批,也
可按产品贮罐组批。
7.3 按GB/T 6678和GB/T 6680中规定的采样技术确定采样单元数和采样方法。生产厂可从贮罐
或生产线上采取有代表性的样品,用户可从贮运槽车中采样。由于三氯氢硅产品遇空气极易水解,所以
采样时间要短,采样结束后样品应立即加盖密封,冷藏保存。
7.4 检验结果如有指标不符合本标准要求时,应重新采样进行复验,复验结果即使只有一项指标不符
合本标准的要求,则整批产品为不合格。
7.5 按GB/T 8170规定的修约值比较法判定检验结果是否符合本标准。
8 标志、标签
8.1 工业三氯氢硅产品包装槽罐车上应有牢固清晰的标志,内容包括:产品名称、施救措施、罐体体积、
核载重量、应急救援电话和GB 190-2009中规定的“遇水放出易燃气体的物质”、“易燃液体”和“腐蚀
性物质”标签。
8.2 每批出厂的工业三氯氢硅都应附有质量证明书。内容包括:生产厂名、厂址、产品名称、类别、等
级、净含量、批号(或生产日期)和本标准编号。
9 包装、运输、贮存
9.1 工业三氯氢硅产品用清洁干燥的专用槽车灌装,罐装容器应符合适用的压力容器要求,产品不可
与空气接触。为防止静电聚积,灌装前,容器及充装管道应做好防静电接地。罐装质量不得超过槽车要
求的充装质量,充装压力不得超过容器的使用压力。槽罐车及罐体应按照检验周期定期进行检验。
9.2 工业三氯氢硅产品主要采用公路运输形式,公路运输必须执行交通部颁发的JT618-2004的相
关规定。槽车上应采用防爆式电气装置。运输过程中要确保容器不泄漏、不倒塌、不坠落、不损坏。严
禁与氧化剂、酸类、碱类、水、食用化学品等混装混运。运输途中应防曝晒、防高温。中途停留时应远离
火种、热源、高温区。公路运输时要按照规定路线行驶,勿在居民区和人口稠密区停留。
9.3 工业三氯氢硅产品应贮存于储罐内,储罐贮存于阴凉、干燥、通风良好的区域,三氯氢硅储罐应设
防静电接地装置和避雷装置,并远离火种、热源。储罐充装不应超过总体积的80%。包装必须密封,以
防泄漏。应与氧化剂、酸类、碱类等分开存放,不得混储。贮存区采用防爆型照明设备和满足防爆要求
的电气设备。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。贮存区应备有相应品种和数量的消防器材及泄
漏应急处理设备和合适的泄漏收容设备。
10 安全
10.1 三氯氢硅遇水或受潮时发烟,与水发生剧烈化学反应,产生大量热量,并产生有毒的氯化氢气体,
若遇高热,容器内压增大,有开裂和爆炸的危险。三氯氢硅对眼睛及呼吸道黏膜有强烈刺激作用,高浓
度可引起角膜混浊、呼吸道炎症,甚至肺水肿,并可伴有头晕、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状,皮肤
接触后可引起组织损伤。
10.2 在进行三氯化硅装卸及取样时,应尽量避免与空气接触,局部排风,使用防爆型通风设施和设备。
操作人员在工作场所应避免穿戴化纤及易产生静电的衣物。操作人员须经过专门培训,严格遵守操作
规程。防止蒸气泄露到工作场所空气中,可能接触其蒸气时,建议操作人员佩戴防毒面具、防护眼镜和
橡胶手套,工作场所应配备相应品种和数量的消防器材及泄露应急处理设备、安全淋浴和洗眼设备。
10.3 三氯氢硅泄漏燃烧时应采用干砂、二氧化碳、干粉、水泥灭火,禁止直接用水和泡沫扑救。
附 录 A
(资料性附录)
推荐的气相色谱测试条件
A.1 毛细管色谱柱的色谱操作条件
毛细管色谱柱的色谱操作条件如下:
---色谱柱:100%二甲基聚硅氧烷,30m×0.32mm×1.0μm;
---载气:氢气;
---分流比:50∶1;
---毛细管柱出口流量:1.5(mL/min);
---柱温:初始温度50℃,保持3min,升温速率20℃/min,终温160℃,保持5min;
---汽化温度:180℃;
---检测温度:220℃;
---进样量:0.001mL。
A.2 典型的毛细管色谱柱气相色谱图
工业三氯氢硅在100%二甲基聚硅氧烷毛细管色谱柱上典型的色谱图见图A.1。
说明:
1---二氯二氢硅;
2---三氯氢硅;
3---四氯化硅;
4---氯硅烷聚合......
|