路径: 主页 > GB/T > 第433页 > GB/T 13389-1992 | 标准编号 | GB/T 13389-1992 (GB/T13389-1992) | | 中文名称 | 掺硼碜磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 | | 英文名称 | Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H21 | | 国际标准分类 | 29.040.30 | | 字数估计 | 19,112 | | 发布日期 | 2/19/1992 | | 实施日期 | 10/1/1992 | | 引用标准 | GB 6615, | | 采用标准 | ASTM F723, MOD | | 发布机构 | 国家技术监督局 | | 范围 | 本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度10^1^2～10^2^1cm^-^3(电阻率0.0001～10, 000Ω·cm)掺硼硅单晶和10^1^2～5×10^2^0cm^-^3(电阻率0.0002～4, 000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算, 也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。 | ......
|