标准搜索结果: 'GB/T 14601-2009'
| 标准编号 | GB/T 14601-2009 (GB/T14601-2009) | | 中文名称 | 电子工业用气体 氨 | | 英文名称 | Gas for electronic industry -- Ammonia | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 10,179 | | 发布日期 | 2009-10-30 | | 实施日期 | 2010-05-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 14601-1993 | | 引用标准 | GB 190-2009; GB/T 3723; GB 7144; GB 14193; 气瓶安全监察规程; 压力容器安全技术监察规程 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了氨的技术要求, 试验方法, 检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于半导体工业氮化硅、氮化镓的化学气相淀积, 也可用于硅或氧化硅的氮化 | GB/T 14601-2009
Gas for electronic industry.Ammonia
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T １４６０１-２００９
代替GB/T １４６０１-１９９３
电子工业用气体 氨
２００９-１０-３０发布
２０１０-０５-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准代替GB/T １４６０１-１９９３《电子工业用气体 氨》。
本标准与GB/T １４６０１-１９９３相比主要变化如下：
---修改标准的名称；
---修改适用范围（GB/T １４６０１-１９９３的第１章，本版的第１章）；
---修改规范性引用文件（GB/T １４６０１-１９９３的第２章，本版的第２章）；
---修改技术指标内容（GB/T １４６０１-１９９３的第３章，本版的第３章）；
---增加对氨尾气处理的要求（见４．３）；
---删去按GB ５８３１规定的方法测定氧含量（GB/T １４６０１-１９９３的４．２．１）；
---修改氧、氮、一氧化碳含量的测定（GB/T １４６０１-１９９３的４．２、４．３、４．４，本版的４．４）；
---增加氢、氩含量的测定（见４．４）；
---增加二氧化碳含量的测定（见４．４）；
---修改烃含量的测定（GB/T １４６０１-１９９３的４．５，本版的４．４）；
---修改水含量的测定方法（GB/T １４６０１-１９９３的４．６，本版的４．５）；
---增加金属离子的测定方法（见４．６）；
---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １４６０１-１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；
---增加规范性附录Ａ，并把采用氦放电离子化气相色谱法测定氨中的氢、氧（氩）、氮、一氧化碳、
二氧化碳和烃（Ｃ１～Ｃ３）含量组分的方法写入该附录（见附录 Ａ）。
本标准的附录Ａ为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位：大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有
限责任公司、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人：孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T １４６０１-１９９３。
GB/T １４６０１-２００９
电子工业用气体 氨
１ 范围
本标准规定了氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。
本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式：ＮＨ３。
相对分子质量：１７．０３１（按２００５年国际相对原子质量）。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０-２００９ 危险货物包装标志
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则
GB ７１４４ 气瓶颜色标志
GB １４１９３ 液化气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
３ 技术要求
３．１ 氨电子级产品的质量应符合表１的要求。
表１ 电子级产品技术指标
项 目 电子级
氨（ＮＨ３）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９５
氧（Ｏ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ １
氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ １
一氧化碳（ＣＯ）含量（体积分数）／１０-６ ＜ １
烃（Ｃ１～Ｃ３）含量（体积分数）／１０-６ ＜ １
水分（Ｈ２Ｏ）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ３
总杂质含量（体积分数）／１０-６ ≤ ５
３．２ 氨光电子级产品应符合表２的要求，重金属含量应符合表３的规定。
表２ 光电子级产品技术指标
项 目 光电子级
氨（ＮＨ３）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９９４
氧（Ｏ２）（氩）含......
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