[PDF] GB/T 14847-1993 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 14847-1993 | 319 | GB/T 14847-1993 | <=3 | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 14847-1993 (GB/T14847-1993) |
| 中文名称 | 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法 |
| 英文名称 | Test method for thickness of lightly doped silicon eqitaxial layers on heavily doped silicon substrates by infrared reflectance |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H21 |
| 国际标准分类 | 29.040.30 |
| 字数估计 | 8,894 |
| 发布日期 | 12/30/1993 |
| 实施日期 | 9/1/1994 |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |