[PDF] GB/T 14851-1993 - 英文版

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GB/T 14851-1993 519 GB/T 14851-1993 <=4 电子工业用气体 磷化氢
   
基本信息
标准编号 GB/T 14851-1993 (GB/T14851-1993)
中文名称 电子工业用气体 磷化氢
英文名称 Gas for electronic industry. Phosphine
行业 国家标准 (推荐)
中标分类 G86
国际标准分类 71.100.20
字数估计 13,198
发布日期 12/30/1993
实施日期 10/1/1994
采用标准 SEMI C3 STD.6-1988, NEQ; SEMI C3 STD.7-1988, NEQ
标准依据 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号)
发布机构 国家技术监督局

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相关标准: GB/T 15909  GB/T 14601  GB/T 14851  GB/T 14850