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| 标准编号 | GB/T 14851-2009 (GB/T14851-2009) | | 中文名称 | 电子工业用气体 磷化氢 | | 英文名称 | Gas for electronic industry -- Phosphine | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 8,858 | | 发布日期 | 2009-10-30 | | 实施日期 | 2010-05-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 14851-1993 | | 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB 5099; GB/T 7144; GB/T 8984; GB 11640; GB 14193; 气瓶安全监察规程 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求, 试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适角于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂 | GB/T 14851-2009
Gas for electronic industry.Phosphine
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T １４８５１-２００９
代替GB/T １４８５１-１９９３
电子工业用气体 磷化氢
２００９-１０-３０发布
２０１０-０５-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准代替GB/T １４８５１-１９９３《电子工业用气体 磷化氢》。
本标准与GB/T １４８５１-１９９３相比主要变化如下：
---修改规范性引用文件（GB/T １４８５１-１９９３的第２章，本版的第２章）；
---修改技术指标内容（GB/T １４８５１-１９９３的第３章，本版的第３章）；
---增加电子工业用磷化氢采样安全要求（本版的４．１．２）；
---增加尾气处理的要求（本版的４．３）；
---修改砷化氢、氮、氧（氩）组分的分析方法（GB/T １４８５１-１９９３的４．２、４．５、４．６，本版的４．３）；
---删去氢的分析方法（GB/T １４８５１-１９９３的４．４）；
---修改二氧化碳、总烃含量的分析方法（GB/T １４８５１-１９９３的４．３，本版的４．５、４．６）；
---增加一氧化碳的分析方法（见４．５）；
---增加标准样品的规定（见４．７）；
---修改水分的分析方法（GB/T １４８５１-１９９３的４．７，本版的４．８）；
---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １４８５１-１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；
---删去GB/T １４８５１-１９９３的附录Ａ；
---增加规范性附录Ａ，并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用磷化氢中的砷化氢、氮、氧
（氩）组分的方法写入该附录（见附录 Ａ）。
本标准的附录Ａ为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院。
本标准主要起草人：周泽义、孙福楠、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T １４８５１-１９９３。
GB/T １４８５１-２００９
电子工业用气体 磷化氢
１ 范围
本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢
产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。
分子式：ＰＨ３。
相对分子质量：３３．９９７５８（按２００５年国际相对原子质量计算）。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０ 危险货物包装标志
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则
GB ５０９９ 钢质无缝气瓶（GB ５０９９-１９９４，neq ISO ４７０５：１９９３）
GB ７１４４ 气瓶颜色标志
GB/T ８９８４ 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB １１６４０ 铝合金无缝气瓶
GB １４１９３ 液化气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
３ 技术要求
电子工业用气体磷化氢的质量应符合表１的要求。
表１ 技术指标
项 目 指 标
磷化氢（ＰＨ３）纯度（体积分数）／１０-２ ≥ ９９．９９９７ ９９．９９９ ９９．９９
砷化氢（ＡｓＨ３）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．１ ２ １０
氮（Ｎ２）含量（体积分数）／１０-６ ＜ １ ３ ５０
氧（氩）（Ｏ２／Ａｒ）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．５ １ ５
一氧化碳（ＣＯ）含量（体积分数）／１０-６ ＜ ０．５ ０．５ １
二氧化碳（ＣＯ２）含量（体积分数）／......
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