| 标准编号 | GB/T 1557-2006 (GB/T1557-2006) |
| 中文名称 | 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 |
| 英文名称 | The method of determining interstitial oxygen content in silicon by infrared absorption |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H17 |
| 国际标准分类 | 77.040.01 |
| 字数估计 | 8,828 |
| 发布日期 | 2006-07-18 |
| 实施日期 | 2006-11-01 |
| 旧标准 (被替代) | GB/T 14143-1993; GB/T 1557-1989 |
| 引用标准 | GB/T 14264; ASTM E 131 |
| 采用标准 | ASTM F1188-2000, MOD |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2006年第8号(总第95号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶中的间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm单晶中间隙氧含量的侧量。本标准测量氧含量的有效范围从1×10(16次方)at· 平方厘米到硅中间隙氧的最大固溶度。 |