[PDF] GB/T 15862-1995 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 15862-1995 | 399 | GB/T 15862-1995 | <=3 | 离子注入机通用技术条件 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 15862-1995 (GB/T15862-1995) |
| 中文名称 | 离子注入机通用技术条件 |
| 英文名称 | Generic specification for ion implantation equipment |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L97 |
| 国际标准分类 | 31.2 |
| 字数估计 | 10,157 |
| 发布日期 | 12/22/1995 |
| 实施日期 | 8/1/1996 |
| 标准依据 | National Standards Bulletin 2012 No. 28 |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其它离子注入机亦可参照使用。 |
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