[PDF] GB/T 15871-1995 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 15871-1995 | 389 | GB/T 15871-1995 | <=3 | 硬面光掩模基板 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 15871-1995 (GB/T15871-1995) |
| 中文名称 | 硬面光掩模基板 |
| 英文名称 | Hard surface photomask substrates |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L97 |
| 国际标准分类 | 31.03 |
| 字数估计 | 11,132 |
| 发布日期 | 12/22/1995 |
| 实施日期 | 8/1/1996 |
| 采用标准 | SEMI P1-1992, NEQ |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了硬面光掩模用玻璃基板的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用玻璃基板(以下简称基板)。 |
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