[PDF] GB/T 15909-1995 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 15909-1995 | 359 | GB/T 15909-1995 | <=3 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 15909-1995 (GB/T15909-1995) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
| 英文名称 | Gas for electronic industry--Silane |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 9,978 |
| 发布日期 | 12/20/1995 |
| 实施日期 | 8/1/1996 |
| 采用标准 | SEMI-1993, MOD |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |