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| 标准编号 | GB/T 15909-2009 (GB/T15909-2009) | | 中文名称 | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) | | 英文名称 | Gas for electronic industry -- Silane | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 9,941 | | 发布日期 | 2009-10-30 | | 实施日期 | 2010-05-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 15909-1995 | | 引用标准 | GB 190-2009; GB/T 3723; GB 5099; GB/T 5832.1; GB 7144; GB/T 8984; GB 11640; GB 14193; 气瓶安全监察规程; 压力容器安全技术监察规程 | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 | GB/T 15909-2009
Gas for electronic industry.Silane
ICS ７１．１００．２０
G８６
中华人民共和国国家标准
GB/T １５９０９-２００９
代替GB/T １５９０９-１９９５
２００９-１０-３０发布
２０１０-０５-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准代替GB/T １５９０９-１９９５《电子工业用气体 硅烷》。
本标准与GB/T １５９０９-１９９５相比主要变化如下：
---修改规范性引用文件（GB/T １５９０９-１９９５的第２章，本版的第２章）；
---修改技术指标内容：增加一类产品纯度和杂质含量，用Ｃｌ-表示氯化物总量（GB/T １５９０９-
１９９５的３．１，本版的３．１）；
---修改电性能规格（GB/T １５９０９-１９９５的３．２，本版的３．３）；
---增加硅烷的采样安全要求（见４．１．２）；
---增加对硅烷尾气处理的要求（见４．３）；
---修改一氧化碳、二氧化碳、氧和氮含量的测定（GB/T １５９０９-１９９５的４．２、４．６，本版的４．４）；
---修改测定氯化物含量所用试剂和溶液的内容（GB/T １５９０９-１９９５的４．３．４，本版的４．５．４）；
---修改测定氯化物含量结果处理公式（GB/T １５９０９-１９９５的４．３．６，本版的４．５．６）；
---增加其他方法测定氯化物含量（见４．５．７）；
---修改烃（Ｃ１～Ｃ３）含量的测定（GB/T １５９０９-１９９５的４．４，本版的４．６）；
---增加其他方法测定氢含量（见４．７．６）；
---增加其他方法测定水含量（见４．８）；
---增加微量甲硅醚，乙硅烷和甲基硅烷含量的测定（见４．９）；
---增加金属离子含量的测定（见４．１０）；
---修改标志、包装、贮运及安全（GB/T １５９０９-１９９５的第５章，本版的第５章）。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位：浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人：余京松、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T １５９０９-１９９５。
GB/T １５９０９-２００９
１ 范围
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀
积等。
分子式：ＳｉＨ４。
相对分子质量：３２．１１７（按２００５年国际相对原子质量）。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB １９０-２００９ 危险货物包装标志
GB/T ３７２３ 工业用化学产品采样安全通则
GB ５０９９ 钢质无缝气瓶
GB/T ５８３２．１ 气体中湿度的测定 电解法
GB ７１４４ 气瓶颜色标志
GB/T ８９８４ 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法
GB １１６４０ 铝合金无缝气瓶
GB １４１９３ 液化气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
压力容器安全技术监察规程
３ 技术要求
３．１ 技术指标
硅烷的质量应符合表１的要求。重金属含量符合表２的要求。
表１ 技术指标
项 目 指 标
硅烷（ＳｉＨ４）纯度 （摩尔分数）／１０-２ ≥ ９９．９９４ ９９．９５
一氧化碳（ＣＯ）和二氧化碳（ＣＯ２）总含量（摩尔分数）／１０-６ ＜ ０．２ ５
氯化物总量（摩尔分数）（包括氯硅烷，ＨＣｌ等可离子化的氯化物，
用Ｃｌ-表示）／１０-６ ＜
１ ５
烃（Ｃ１～Ｃ３）含量（摩尔分数）／１０-６ ＜ ０．２ １０
氢（Ｈ２）含量（摩尔分数）／１０-６ ＜ ５０ ４００
氮（......
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