[PDF] GB/T 16595-1996 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 16595-1996 | 279 | GB/T 16595-1996 | <=3 | 晶片通用网格规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16595-1996 (GB/T16595-1996) |
| 中文名称 | 晶片通用网格规范 |
| 英文名称 | Specification for a universal wafer grid |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H21 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 7,748 |
| 发布日期 | 11/4/1996 |
| 实施日期 | 4/1/1997 |
| 采用标准 | SEMI M17-1990, MOD |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网络图形。网络规定包含1 000个面积近似相等的网格单元, 每个网格单元相当于受检表面固定优质区总面积的0.1%。根据晶片表面上有缺陷的面积百分比, 可定量其非均匀分布的表面缺陷。 |