[PDF] GB/T 16596-1996 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 16596-1996 | 239 | GB/T 16596-1996 | <=3 | 确定晶片坐标系规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16596-1996 (GB/T16596-1996) |
| 中文名称 | 确定晶片坐标系规范 |
| 英文名称 | Specification for establishing a wager coordinate system |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H21 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 6,679 |
| 发布日期 | 11/4/1996 |
| 实施日期 | 4/1/1997 |
| 引用标准 | GB/T 12964-1996; GB/T 16596-1996; SEMI E5-1992; SEMI M1-1994; SEMI M12-1992; SEMI M13-1988, |
| 采用标准 | SEMI M20-1992, MOD |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了利用晶片中心作为极坐标(r-θ-z)或直角坐标(x-y-z)的原点, 可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。 |