[PDF] GB/T 16880-1997 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 16880-1997 | 159 | GB/T 16880-1997 | <=2 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 16880-1997 (GB/T16880-1997) |
| 中文名称 | 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 |
| 英文名称 | Guidelines for photomask defect classification and size definition |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L97 |
| 国际标准分类 | 31.02 |
| 字数估计 | 4,450 |
| 发布日期 | 6/20/1997 |
| 实施日期 | 3/1/1998 |
| 采用标准 | SEMI P22-1993, IDT |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
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