[PDF] GB/T 17169-1997 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 17169-1997 | 399 | GB/T 17169-1997 | <=3 | 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 17169-1997 (GB/T17169-1997) |
| 中文名称 | 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 |
| 英文名称 | Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H82;H26 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 10,188 |
| 发布日期 | 12/22/1997 |
| 实施日期 | 8/1/1998 |
| 标准依据 | National Standard Committee Bulletin (2005 No. 146) |
| 发布机构 | 国家技术监督局 |
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