[PDF] GB/T 17866-1999 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 17866-1999 | 349 | GB/T 17866-1999 | <=3 | 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 17866-1999 (GB/T17866-1999) |
| 中文名称 | 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则 |
| 英文名称 | Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysis of mask defect inspection systems |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L56 |
| 国际标准分类 | 31.2 |
| 字数估计 | 10,148 |
| 发布日期 | 9/13/1999 |
| 实施日期 | 6/1/2000 |
| 引用标准 | GB/T 16880-1997; SJ/T 10584-1994 |
| 采用标准 | SEMI P23-1993, IDT |
| 发布机构 | 国家质量技术监督局 |
| 范围 | 本标准规定了掩模缺陷检查系统灵敏度。 |
......