[PDF] GB/T 17874-2010 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 17874-2010 | 399 | GB/T 17874-2010 | <=3 | 电子工业用气体 三氯化硼 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 17874-2010 (GB/T17874-2010) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 三氯化硼 |
| 英文名称 | Gases for electronic industry -- Boron trichloride |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 9,929 |
| 发布日期 | 2011-01-14 |
| 实施日期 | 2011-05-01 |
| 旧标准 (被替代) | GB/T 17874-1999 |
| 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB 5099; GB 7144; GB/T 8984; GB 14193; GB/T 26571; 《气瓶安全监察规程》国家质量监督检验检疫总局 2000年 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第2号 |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料, 采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼, 主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 |
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