[PDF] GB/T 18867-2002 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 18867-2002 | 399 | GB/T 18867-2002 | <=3 | 电子工业用气体 六氟化硫 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 18867-2002 (GB/T18867-2002) |
| 中文名称 | 电子工业用气体 六氟化硫 |
| 英文名称 | Gases for electronic industry -- Sulfur hexafluoride |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G86 |
| 国际标准分类 | 71.100.20 |
| 字数估计 | 10,174 |
| 发布日期 | 2002-10-15 |
| 实施日期 | 2003-04-01 |
| 采用标准 | SEMI C3.24-1995, NEQ |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 |
| 范围 | 本标准规定了电子下业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装, 标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。 |
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