路径: 主页 > GB/T > 第460页 > GB/T 18867-2014 | 标准编号 | GB/T 18867-2014 (GB/T18867-2014) | | 中文名称 | 电子工业用气体 六氟化硫 | | 英文名称 | Gases for electronic industry -- Sulfur hexafluoride | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 11,163 | | 发布日期 | 12/12/2014 | | 实施日期 | 7/1/2015 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 18867-2002 | | 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB 5099; GB/T 5832.1; GB/T 5832.3; GB 7144; GB/T 8170; GB/T 12022; GB 14193; GB 15258; GB 16804; GB/T 26571; GB/T 28726-2012 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第30号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 18867-2014
Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 18867-2002
电子工业用气体 六氟化硫
2014-12-22发布
2015-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准代替GB/T 18867-2002《电子工业用气体 六氟化硫》。与GB/T 18867-2002相比,除编
辑性修改外主要技术变化如下:
---修改了范围(见第1章,2002年版的第1章);
---修改了规范性引用文件(见第2章,2002年版的第2章);
---修改了技术指标(见第3章,2002年版的第3章);
---修改了抽样、判定和复验(见4.1,2002年版的第5章);
---修改了氧+氩、氮、四氟化碳、二氧化碳含量的测定方法(见4.3,2002年版的4.2、4.3);
---删除了六氟乙烷、八氟丙烷含量的测定方法(见2002年版的4.4);
---增加了一氧化碳和甲烷含量的测定方法(见4.3);
---修改了水分含量的测定方法(见4.4,2002年版的4.5);
---修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2002年版的第6章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高
精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司、上海华爱色谱分析技术有限
公司、大连大特气体有限公司、四川中测标物科技有限公司、上海仪盟电子科技有限公司、光明化工研究
设计院、上海基量标准气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、核工业理化工程研究院华核新技
术开发公司。
本标准主要起草人:黄晓磊、牛学坤、赖明贵、傅涛、刘长庆、任清贵、史淑慧、方正、廖恒易、李晓明、
曲庆、杨任、常侠、杨遂平、邓建平、方华、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T 18867-2002。
电子工业用气体 六氟化硫
1 范围
本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。
本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学
气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
分子式:SF6。
相对分子质量:146.0564192(按2007年国际相对原子质量计算)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.1 气体湿度的测定 第1部分:电解法
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB 7144 气瓶颜色标志
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 12022 工业六氟化硫
GB 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
3 要求
六氟化硫的技术指标应符合表1要求。
表1 技术指标
项 目 名 称 指 标
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