[PDF] GB/T 19921-2005 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 19921-2005 | 439 | GB/T 19921-2005 | <=3 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 19921-2005 (GB/T19921-2005) |
| 中文名称 | 硅抛光片表面颗粒测试方法 |
| 英文名称 | Test method of particles on silicon wafer surfaces |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H17 |
| 国际标准分类 | 77.040.01 |
| 字数估计 | 11,136 |
| 发布日期 | 2005-09-19 |
| 实施日期 | 2006-04-01 |
| 标准依据 | Announcement of Newly Approved National Standards No. 12 of 2005 (total 86) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片, 也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷, 但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能, 并与检测时的初始设置有关。 |
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