[PDF] GB/T 19922-2005 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 19922-2005 | 259 | GB/T 19922-2005 | <=3 | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 19922-2005 (GB/T19922-2005) |
| 中文名称 | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 |
| 英文名称 | Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H17 |
| 国际标准分类 | 77.040.01 |
| 字数估计 | 10,193 |
| 发布日期 | 2005-09-19 |
| 实施日期 | 2006-04-01 |
| 采用标准 | ASTM F1530-1994, MOD |
| 标准依据 | Announcement of Newly Approved National Standards No. 12 of 2005 (No. 86 overall) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
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