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| 标准编号 | GB/T 20510-2017 (GB/T20510-2017) | | 中文名称 | 氧化铟锡靶材 | | 英文名称 | Indium-tin oxide target | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H62 | | 国际标准分类 | 77.150.60 | | 字数估计 | 10,183 | | 发布日期 | 2017-10-14 | | 实施日期 | 2018-05-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
GB/T 20510-2017
Indium-tin oxide target
ICS 77.150.60
H62
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 20510-2006
氧 化 铟 锡 靶 材
2017-10-14发布
2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准代替GB/T 20510-2006《氧化铟锡靶材》。与GB/T 20510-2006相比,主要变动如下.
---删除了“失氧率”的要求;
---对氧化铟锡靶材的化学成分进行了修改,删除了对杂质元素锌、钙、镁量的控制,增加了杂质
铬、铊量的控制;
---修改了相对密度的含量范围;
---增加了“表面粗糙度”;
---增加了“组织均匀性”;
---修改了组批的方式;
---删除了标准附录“失氧率的测定”。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位.株洲冶炼集团股份有限公司。
本标准参加起草单位.中国船舶重工集团公司第725研究所、北京冶科纳米科技有限公司。
本标准主要起草人.谭仪文、黄剑、彭小苏、郗雨林、孙振德、梅方胜、崔晓芳、张士察。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为.
---GB/T 20510-2006。
氧 化 铟 锡 靶 材
1 范围
本标准规定了氧化铟锡(简称ITO)靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输与贮存、质
量证明书、订货单(或合同)内容等。
本标准适用于以99.99%金属铟、锡为原料生产的氧化铟锡靶材,用于制作透明导电膜。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 351 金属材料电阻系数测量方法
GB/T 5163 烧结金属材料(不包括硬质合金) 可渗性烧结金属材料 密度、含油率和开孔率的
测定
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 13298 金属显微组织检验方法
GB/T 16535 精细陶瓷线热膨胀系数试验方法 顶杆法
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
表观密度 density
每单位体积物质的质量。
3.2
相对密度 relativedensity
物质的密度与参照物的密度的比值。
注.在本标准中氧化铟锡靶材的相对密度为靶材表观密度与理论密度的比值。氧化铟锡靶材当质量百分比
In2O3∶SnO2=90∶10时,理论密度以7.155g/cm3 计算。
3.3
开尔文电桥 Kelvinbridge
开尔文电桥,是一种利用电位比较的方法进行测量的仪器,具有很高的灵敏度和准确性,在电测技
术和自动控制测量应用极为广泛。而开尔文电桥又是惠斯通电桥的变形,在测量小阻值电阻(通常< 1......
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