[PDF] GB/T 22572-2008 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 22572-2008 | 134 | GB/T 22572-2008 | <=3 | 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 22572-2008 (GB/T22572-2008) |
| 中文名称 | 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法 |
| 英文名称 | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | G04 |
| 国际标准分类 | 71.040.40 |
| 字数估计 | 7,710 |
| 发布日期 | 2008-12-11 |
| 实施日期 | 2009-10-01 |
| 引用标准 | GB/T 22461 |
| 采用标准 | ISO 20341-2003, IDT |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2008年第19号(总第132号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准详细说明了在SIMS深度剖析中, 用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定, 本标准不适用于近表面区域的δ层。 |
GB/T 22572-2008
Surface chemical analysis.Secondary-ion mass spectrometry.Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials
ICS ７１．０４０．４０
G０４
中华人民共和国国家标准
GB/T ２２５７２-２００８／ISO ２０３４１：２００３
表面化学分析 二次离子质谱
用多δ层参考物质
评估深度分辨参数的方法
（ISO ２０３４１：２００３，ＩＤＴ）
２００８-１２-１１发布
２００９-１０-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准等同采用ISO ２０３４１：２００３《表面化学分析---二次离子质谱---用多δ层参考物质评估深
度分辨参数的方法》。
为便于使用，本标准对ISO ２０３４１：２００３做了下列编辑性修改：
---删除了原国际标准的前言部分；
---将本国际标准改为本标准。
本标准的附录Ａ为规范性附录。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
本标准负责起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心。
本标准主要起草人：马农农、何友琴、何秀坤。
GB/T ２２５７２-２００８／ISO ２０３４１：２００３
引 言
深度分辨是二次离子质谱（ＳＩＭＳ）深度剖析的一个重要参数。然而，在ＳＩＭＳ分析中，影响溅射深
度剖析结果的因素很多，包括离子束诱导的混合和偏析、电荷驱动的扩散、基体效应、弧坑形状和表面微
形貌等。只有了解并尽量降低以上因素的影响，才能得到最佳的深度分辨。
获取最佳的深度分辨通常要求特定的分析条件，包括超低的一次离子束能量、掠入射、旋转样品、低
温冷却样品等，所有这些条件在常规的ＳＩＭＳ分析中都很难满足。此外，对每一种样品所要求的最佳分
析参数可能很不相同。进而，各种仪器因素，如弧坑的形状、离子束的同一性、弧坑边沿效应的消除、质
量干扰、记忆效应、残气效应等，也会影响深度分辨的各个方面。
因此，在常规的ＳＩＭＳ分析条件下，难以直接评估深度分辨。本标准阐述了前沿衰变长度、后沿衰
变长度和高斯展宽的概念，提出了每个参数的测量步骤。多δ层参考物质就可用于评估在常规ＳＩＭＳ
分析条件下的深度分辨参数。
GB/T ２２５７２-２００８／ISO ２０３４１：２００３
表面化学分析 二次离子质谱
用多δ层参考物质
评估深度分辨参数的方法
１ 范围
本标准详细说明了在ＳＩＭＳ深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高
斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。
２ 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有
的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB/T ２２４６１ 表面化学分析 词汇（GB/T ２２４６１-２００８，ISO １８１１５：２００１，ＩＤＴ）
３ 符号
AＬ，AＴ 比例因子。
B，C 比例系数。
I（狕） 随深度的二次离子强度。
狕 深度。
狕０ 表观峰的深度。
λＬ 前沿衰变长度。
λＴ 后沿衰变长度。
σ 高斯展宽。
４ 多δ层参考物质的要求
４．１ 根据GB/T ２２４６１中δ层的定义，理想的δ层为单原子层。但是，并非总能够制作出δ层或验证
单原子层厚度。如果没有理想的δ层可用，符合下面规定的非理想δ层也可作为参考物质。
４．２ 在ＳＩＭＳ深度剖析中溅射面层的基体不应改变，这样基体效应或剥蚀速率就不会有明显变化。穿
过δ层时，基体元素二次离子强度的恒定表明基体没有变化。
４．３ 表面和δ层应该平整且相互平行，以避免ＳＩＭＳ深度剖析的任何失真。
４．４ 掺杂δ层的厚度应远小于一次离子的投影射程，这样厚度的微小变化不会影响剖析曲线的形状。
４．５ 相邻δ层的间距应足够大，使层与层间二次离子强度的谷值小于峰值的１％。
４．６ δ层厚度、......