[PDF] GB/T 24468-2009 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 24468-2009 | 759 | GB/T 24468-2009 | <=6 | 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 24468-2009 (GB/T24468-2009) |
| 中文名称 | 半导体设备可靠性、可用性和维修性(RAM)的定义和测量规范 |
| 英文名称 | Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability and maintainability (RAM) |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L85 |
| 国际标准分类 | 17.040.30 |
| 字数估计 | 33,331 |
| 发布日期 | 2009-10-15 |
| 实施日期 | 2009-12-01 |
| 引用标准 | SEMI E35; SEMI E58; SEMI E79; SEMI E116 |
| 采用标准 | SEMI E10-0304, MOD |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第11号(总第151号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准定义了设备的六个基本状态, 所有的设备条件和阶段都必须归人这六个状态。设备的状态由功能决定, 而不管是由谁来执行此功能。本规范中所涉及的设备可靠性的测量主要集中在设备失效和设备使用的关系上, 而不是设备失效和设备经历的(日历)总时间之间的关系。本标准第5 章(设备的状态)定义了设备的时间是如何分类的, 第6 章(RAM 测量)确定了测量设备性能的公式。第7 章(不确定度测量)给出了用统计学对计算出的性能量值进行评估的方法。本标准的有效实施, 要求设备的(RAM) 性能可以通过设备的运行时间和周期进行跟踪。对设 |