[PDF] GB/T 24582-2009 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 24582-2009 | 319 | GB/T 24582-2009 | <=3 | 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定 多晶硅表面金属杂质 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 24582-2009 (GB/T24582-2009) |
| 中文名称 | 酸浸取-电感耦合等离子质谱仪测定 多晶硅表面金属杂质 |
| 英文名称 | Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-inductively coupled plasma mass spectrometry |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | H80 |
| 国际标准分类 | 29.045 |
| 字数估计 | 8,833 |
| 发布日期 | 2009-10-30 |
| 实施日期 | 2010-06-01 |
| 引用标准 | ISO 14644-1; SEMI C28; SEMI C30; SEMI C35; ASTM D5127 |
| 标准依据 | 国家标准批准发布公告2009年第12号(总第152号) |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质, 并用电感耦合等离子质谱仪定量检测多晶硅表面上的金属杂质痕量分析方法。本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、钾、钙、铁、镍、钢、锌以及其他元素如铝的检测。本标准适用于各种棒、块、粒、片状多品表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则, 面积很难准确测定, 故根据样品重量计算结果, 使用的样品重量为50g～300g, 检测限为0.01ng/mL 。酸的浓度、组成、温度和浸取时间决定着表面腐蚀深度和表面污染物的浸取效率。在这个实验方法中腐蚀掉的样品重量小于样 |