路径: 主页 > GB/T > 第527页 > GB/T 25187-2010 | 标准编号 | GB/T 25187-2010 (GB/T25187-2010) | | 中文名称 | 表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Auger electron spectroscopy -- Description of selected instrumental performance parameters | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 7,734 | | 发布日期 | 2010-09-26 | | 实施日期 | 2011-08-01 | | 引用标准 | GB/T 22461-2008 | | 采用标准 | ISO 15471-2004, IDT | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2010年第6号(总第161号) | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准表述了如何描述一台俄歇电子能谱-选择仪器的特定性能。 | GB/T 25187-2010
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 俄歇电子能谱
选择仪器性能参数的表述
(ISO 15471:2004,IDT)
2010-09-26发布
2011-08-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准等同采用ISO 15471:2004《表面化学分析 俄歇电子能谱 选择仪器性能参数的表述》。
为了方便使用,本标准做了下列编辑性修改:
---用“本标准”代替“本国际标准”。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
本标准负责起草单位:福建光电有限公司、清华大学化学系。
本标准起草人:王水菊、姚文清、时海燕、李展平、刘芬、沈电洪。
引 言
世界上有许多家厂商生产俄歇电子能谱仪(AESs)和扫描俄歇电子显微镜(SAMs)。虽然每台仪
器的AES分析方法的基本原理相同,但仪器的具体设计和性能说明的方式却各不相同。因此,通常很
难比较不同厂商生产的仪器性能。本标准提供一个基本项目单,以使所有俄歇电子能谱仪能以一种共
同的方式来表述。本标准不是用来取代厂商的说明书,而是就厂商说明书中所确定的某些项目给出一
致和明确的定义。
表面化学分析 俄歇电子能谱
选择仪器性能参数的表述
1 范围
本标准表述了如何描述一台俄歇电子能谱仪的特定性能。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇(ISO 18115:2001,IDT)
3 术语和定义
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇中所给定的术语和定义适用于本文件。
4 符号和缩略词
AES 俄歇电子能谱(也指俄歇电子能谱仪);
FWHM 本底以上最大峰强一半处的全宽度;
SAM 扫描俄歇电子显微镜(也指扫描俄歇电子显微术);
SEM 扫描电子显微镜。
注:一直以来,AES仪器的动能标参考真空能级,而XPS或AES/XPS联合谱仪则参考费米能级。从费米能级参照
转换为真空能级参照是通过从电子动能中扣除谱仪逸出功来实现;一种近似方法是从费米能级参照的动能中
扣除4.5eV,这对于大多数实际AES和SAM应用是可行的。
5 选择仪器性能参数的表述
5.1 分析方法
应简要叙述用于从样品获得信息的方法,并说明在所考虑的系统中其他分析技术的适用性(作为选项)。
5.2 样品
应给出使用该仪器可分析的样品大小和形状。如果样品的大小或形状受限......
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