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| 标准编号 | GB/T 25915.8-2021 (GB/T25915.8-2021) | | 中文名称 | | | 英文名称 | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration(ACC) | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | C70 | | 字数估计 | 22,293 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 25915.8-2021
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 8: Classification of air cleanliness by chemical concentration(ACC)
CCSC70
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 25915.8-2010
洁净室及相关受控环境
第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度
(ACC)等级
(ISO 14644-8:2013,IDT)
2021-08-20发布
2022-03-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 分级 3
5 合格性的证明 5
附录A(资料性) 影响ACC的因素 6
附录B(资料性) 常见污染物 9
附录C(资料性) 常用测量方法 12
附录D(资料性) 隔离装置的特殊要求 15
参考文献 16
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》的第8部分。GB/T 25915已经发布了以下部分:
---第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;
---第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;
---第3部分:检测方法;
---第4部分:设计、建造、启动;
---第5部分:运行;
---第6部分:词汇;
---第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);
---第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;
---第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;
---第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;
---第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。
本文件代替GB/T 25915.8-2010《洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级》,与
GB/T 25915.8-2010相比,主要技术变化如下:
a) 增加了“按化学物浓度划分空气洁净度”“按化学物浓度划分表面洁净度”和“按化学物浓度划
分空气洁净度(ACC)等级”的术语和定义(见3.1.2、3.1.4、3.1.8);
b) 修改了术语“分子污染”为“化学污染物”、“空气分子污染”为“空气化学污染”和“表面分子污
染”为“表面化学污染物”(见3.1.1、3.1.3、3.1.5,2010年版的3.1.1、3.1.2、3.1.3);
c) 修改了描述符的形式“ISO -AMC”为 “ISO -ACC”(见4.1、4.2、5.1、5.3,2010年版的4.1、4.2、
5.1、5.3);
d) 增加了空白流转样本(见5.2);
e) 增加了影响ACC的因素(见A.3.4、A.4.3、A.5.4、A.6、A.7、A.8、A.9);
f) 增加了化学污染物氯、三甲胺等,删除了乙醇胺、三氯乙基磷酸酯等(见表B.1,2010年版的
表B.1);
g) 增加了隔离装置关于检测方面的考虑(见D.2.5~D.2.7)。
本文件等同采用ISO 14644-8:2013《洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁
净度(ACC)等级》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本文件起草单位:中国电子工程设计院有限公司、苏州市计量测试院、苏州安泰空气技术有限公司、
江苏嘉合建设有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、烟台宝源净化有限公司、爱美克
空气过滤器(苏州)有限公司、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境科技股份有限公司、贺氏(苏
州)特殊材料有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、中国计量科学
研究院、中电投工程研究检测评定中心有限公司、深圳新科特种装饰工程有限公司。
本文件主要起草人:王尧、娄宇、张秀春、王大千、李启东、朱兰、金真、孙玉澄、王小兵、叶伟强、
耿新颜、翟传明、汪洪军、吴小泉、高正、石小雷、杨云涛、张敏、徐小浩、袁月、刘璐、殷晓冬。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
---2010年首次发布为GB/T 25915.2-2010;
---本次为第一次修订。
引 言
GB/T 25915是采用ISO 14644系列国际标准,各部分设置与国际标准保持一致,拟由15个部
分构成。
---第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级。目的是区分粒子污染程度。
---第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测。目的是指导监测粒子污染,以避免可能产生的污染
风险。
---第3部分:检测方法。目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测。
---第4部分:设计、建造、启动。目的是指导洁净室的设计、建造、启动。
---第5部分:运行。目的是指导洁净室的运行。
---第6部分:词汇。目的是统一规范技术术语。
---第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)。目的是提出洁净室用隔离装置的基
本要求。
---第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级。目的是区分空气化学污染程度。
---第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面粒子污染程度。
---第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面化学污染程度。
---第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。目的是提出纳米级别的粒子污染的检测
要求。
---第13部分:达到粒子和化合洁净度要求的表面清洁。目的是提出洁净室内表面的清洁要求以
避免可能产生的粒子和化学污染的风险。
---第14部分:按粒子污染浓度评估设备适用性。目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子
污染的测试,确定设备的适合性。
---第15部分:按化学污染物浓度评定设备及材料的适合性。目的是通过对相关设备可能在洁净
室产生化学污染的测试,确定设备的适合性。
---第16部分:提高洁净室和空气净化装置能效。目的是节约洁净室运行的能源消耗。
还要注意GB/T 25916《洁净室及相关受控环境 生物污染控制》:
---第1部分:一般原理和方法:
---第2部分:生物污染报告的评估与分析。
本文件的空气化学污染分3阶段,第一阶段是“产生”,即外部源、工艺的泄漏、建筑材料或人身上材
料的气体释放;第二阶段是空气化学污染的“传播”;第三阶段是敏感表面的“吸附”,此阶段的表面化学
污染可以量化。
除了实际空气污染外,能释放出气体的材料及有吸附能力的表面对“产生”和“吸附”2个阶段也有
很大的影响。因此,对于这两个阶段,不仅需明确污染物,还需明确所涉及的材料和表面。为了制定适
用于各类洁净室及相关受控环境的通用标准,决定按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级。
在洁净室及相关受控环境中有空气化学污染危害产品或工艺的情况,本文件所确定的ISO 等级可
用来规定其中的ACC浓度水平。
为分级的目的,本文件限于规定ACC的浓度范围,并考虑到化合物、检测和分析方法、时间加权系
数等因素,给出了说明浓度的标准方法。
本文件包含下述资料性附录:
---附录A:影响ACC的因素;
---附录B:常见污染物;
---附录C:常用测量方法;
---附录D:隔离装置的特殊要求。
本文件是有关洁净室及相关受控环境的GB/T 25915的1个部分,除ACC外,洁净室及相关受控
环境的设计、技术要求、运行和控制中,尚有许多其他需要考虑的因素,它们包含在SAC/TC319编制
的其他国家标准中。要特别注意GB/T 25915的所有部分。有些情况下,相关管理机构可能会规定某
些补充政策或限制,此时可能需要对本文件进行适当修改。
洁净室及相关受控环境
第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度
(ACC)等级
1 范围
本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质(种、组或类)的浓度,对空气化学污染进行
分级。同时,本文件分级技术要求,给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。
本文件目前只考虑洁净室运行工况下空气中100g/m3~10-12g/m3 的化学污染物浓度。
本文件不涉及那些空气中虽有化学物质存在、但不认为对产品或工艺有危害风险的行业、工艺和
生产。
本文件无意探讨空气化学污染物的特性。
本文件不包含对表面化学污染的分级。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规......
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