路径: 主页 > GB/T > 第527页 > GB/T 28893-2012 | 标准编号 | GB/T 28893-2012 (GB/T28893-2012) | | 中文名称 | 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 测定峰强度的方法和报告结果所需的信息 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy -- Methods used to determine peak intensities and information required when reporting results | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 16,158 | | 引用标准 | GB/T 22461-2008 | | 采用标准 | ISO 20903-2006, IDT | | 标准依据 | 国家标准公告2012年第28号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的峰强度测量的分析结果报告中所要求的必要信息。提供了峰强度测量方法和所得峰面积的不确定度信息。 | GB/T 28893-2012
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 俄歇电子能谱和
X射线光电子能谱 测定峰强度的
方法和报告结果所需的信息
(ISO 20903:2006,IDT)
2012-11-05发布
2013-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 1
5 直接谱的峰强度测定方法 1
5.1 概述 1
5.2 非弹性本底的选择和扣除 2
5.3 峰强度的测量 3
5.3.1 峰高度的测量 3
5.3.2 峰面积的测量 3
5.4 用计算机软件测量峰强度 4
5.5 重叠峰谱图的峰强度测量 4
5.6 峰面积测量的不确定度 4
6 俄歇电子微分谱的峰强度测定方法 5
6.1 概要 5
6.2 俄歇电子微分谱强度的测量 5
6.3 俄歇电子微分谱强度测量的不确定度 6
7 测量峰强度方法的报告 6
7.1 一般要求 6
7.2 测定直接谱峰强度的方法 6
7.2.1 单峰的强度测量 6
7.2.2 拟合峰的强度测量 6
7.3 获得和测定俄歇电子微分谱峰强度的方法 7
7.3.1 获得微分谱的方法 7
7.3.2 测定峰强度的方法 7
附录A(资料性附录) 仪器对测量强度的影响 8
参考文献 9
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO 20903:2006《表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱
测定峰强度的方法和报告结果所需的信息》
为了方便使用,本标准做了下列编辑性修改:
---用“本标准”代替“本国际标准”。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准负责起草单位:厦门爱劳德光电有限公司、厦门大学化学化工学院。
本标准起草人:王水菊、时海燕、岑丹霞、姚文清、刘芬、沈电洪。
引 言
俄歇电子能谱(AES)和X射线光电子能谱(XPS)的重要特征是能获得固体样品表面区域的定量分
析。此分析需要测定某些窄谱的强度。
AES和XPS有若干种测量峰强度的方法。方法的选择取决于所分析样品的类型、所用仪器的性
能和所用数据采集和处理的方法。
本标准有两个主要应用领域。一,本标准表述了测定谱图中某一元素峰强度的方法,给出了处理中
原始不确定度及如何减小这些不确定度的信息。二,本标准规定了报告所用峰强度测量方法的要求,使
其他分析人员可自信地使用发表的结果。
表面化学分析 俄歇电子能谱和
X射线光电子能谱 测定峰强度的
方法和报告结果所需的信息
1 范围
本标准规定了俄歇电子能谱和X射线光电子能谱的峰强度测量的分析结果报告中所要求的必要
信息。提供了峰强度测量方法和所得峰面积的不确定度信息。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 22461-2008,表面化学分析 词汇(ISO 18115:2001,IDT)
3 术语和定义
GB/T 22461-2008中界定的术语和定义适用于本文件。
4 符号和缩略语
A 峰面积
AES 俄歇电子能谱
b 用于强度平均获得基线的通道数
eV 电子伏
n 谱图中的通道数
XPS X射线光电子能谱
yi 谱图中第i通道的计数
ΔE 通道宽度(单位为电子伏,eV)
Δt 每通道的停留时间(单位为秒,s)
σ(A) 计算峰面积的标准偏差
5 直接谱的峰强度测定方法
5.1 概述
图1a)显示了X射线光电子谱图的一部分,其强度标示为自左向右递增的动......
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