[PDF] GB/T 29056-2012 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 29056-2012 | 229 | GB/T 29056-2012 | <=3 | 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 29056-2012 (GB/T29056-2012) |
| 中文名称 | 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法 |
| 英文名称 | Trichlorosilane for silicon epitaxy -- Determination of boron, aluminium, phosphorus, vanadium, chrome, manganese, iron, cobalt, nickel, copper, arsenic, molybdenum and antimony content -- Inductively coupled plasma mass spectrometric method |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 中标分类 | L90 |
| 国际标准分类 | 31.030 |
| 字数估计 | 10,116 |
| 标准依据 | 国家标准公告2012年第41号 |
| 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 |
| 范围 | 本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅(SiHC13)中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量的测定。 |
GB/T 29056-2012
ICS 31.030
L90
中华人民共和国国家标准
硅外延用三氯氢硅化学分析方法
硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、
铜、钼、砷和锑量的测定
电感耦合等离子体质谱法
2012-12-31发布
2013-10-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:南京中锗科技股份有限公司、南京大学现代分析中心、南京大学国家863计划新
材料 MO源研究开发中心。
本标准主要起草人:郑华荣、刘新军、龚磊荣、张莉萍、黄和明、陈逸君、虞磊。
硅外延用三氯氢硅化学分析方法
硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、
铜、钼、砷和锑量的测定
电感耦合等离子体质谱法
警告---使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问
题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
1 范围
本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)中硼、铝、磷、
钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等痕量元素含量的方法。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅(SiHCl3)中硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷、锑等含量
的测定。各元素测定范围见表1。
表1
元 素 测定范围(质量分数w)/%
B 0.000000001~0.000002
Al 0.000000001~0.000002
P 0.000000001~0.0000002
V 0.0000000005~0.000002
Cr 0.000000001~0.000002
Mn 0.000000001~0.000002
Fe 0.000000001~0.000002
Co 0.0000000005~0.0000002
Ni 0.000000001~0.000002
Cu 0.000000001~0.000002
Mo 0.0000000005~0.0000002
As 0.000000001~0.000002
Sb 0.000000001~0.000002
2 方法提要
乙腈能与一些金属氯化物生成......