路径: 主页 > GB/T > 第724页 > GB/T 29056-2025 | 标准编号 | GB/T 29056-2025 (GB/T29056-2025) | | 中文名称 | 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | | 英文名称 | Determination of impurity content in trichlorosilane for silicon epitaxy - Inductively coupled plasma mass spectrometry | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 10,143 | | 发布日期 | 2025-10-31 | | 实施日期 | 2026-05-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 29056-2012 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 29056-2025: 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
ICS 77.040
CCSH17
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 29056-2012
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
2025-10-31发布
2026-05-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 29056-2012《硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、
镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法》,与GB/T 29056-2012相比,除结构调整和编
辑性改动外,主要技术变化如下:
a) 增加了锂、钠等元素的测定,更改了测定范围(见第1章,2012年版的第1章);
b) 更改了方法原理(见第4章,2012年版的第2章);
c) 增加了干扰因素(见第5章);
d) 增加了试验条件(见第6章);
e) 更改了试剂和材料(见第7章,2012年版的第3章);
f) 更改了仪器设备(见8.1,2012年版的第4章);
g) 增加了分析天平、电加热板、器皿等要求(见8.2~8.8);
h) 增加了样品采样的要求(见第9章);
i) 删除了分析步骤中的安全措施(见2012年版的5.1);
j) 增加了仪器准备(见10.1);
k) 更改了试料、平行试验、标准溶液的配制和测定步骤(见10.2、10.3、10.5、10.7,2012年版的
5.2、5.3、5.5、5.6);
l) 更改了精密度要求(见第11章,2012年版的第7章);
m)删除了质量保证与控制(见2012年版的第8章);
n) 更改了试验报告(见第12章,2012年版的第9章)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:洛阳中硅高科技有限公司、江苏鑫华半导体科技股份有限公司、四川永祥新能源
有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、青海南玻新能源科技有限
公司、青海丽豪清能股份有限公司、新疆新特新能材料检测中心有限公司、湖北江瀚新材料股份有限
公司。
本文件主要起草人:万烨、郭树虎、刘见华、曹俊英、赵培芝、吴作木、宋丹、王春明、魏东亮、李强、
冉祎、康俊勤、甘俊、汤艳。
本文件于2012年首次发布,本次为第一次修订。
硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
警示---使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问
题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
1 范围
本文件描述了硅外延用三氯氢硅中锂、硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、
钼、砷、铅等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于硅外延用三氯氢硅中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。
表1 各元素测定范围
元素
测定范围
ng/g
锂 0.01~10
硼 0.01~10
钠 0.01~10
镁 0.01~10
铝 0.01~10
钾 0.01~10
钙 0.01~10
磷 0.01~10
钛 0.01~10
钒 0.005~10
铬 0.01~10
锰 0.01~10
铁 0.01~1......
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