路径: 主页 > GB/T > 第527页 > GB/T 29732-2013 | 标准编号 | GB/T 29732-2013 (GB/T29732-2013) | | 中文名称 | 表面化学分析 中等分辨率俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准 | | 英文名称 | Surface chemical analysis -- Medium resolution auger electron spectrometers -- Calibration of energy scales for elemental analysis | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 14,167 | | 引用标准 | GB/T 22461-2008 | | 采用标准 | ISO 17973-2002; MOD | | 标准依据 | 国家标准公告2013年第18号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3eV时的校准方法, 用于识别表面常规元素。另外, 还规定一种用于确定校准周期的方法。本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于0.5%, 微分模式调制幅度的峰峰值为2eV。本标准适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法, 具有4keV或更高束能电子枪的谱仪。 | GB/T 29732-2013
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 中等分辨率俄歇电子能
谱仪 元素分析用能量标校准
(ISO 17973:2002,MOD)
2013-09-18发布
2014-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 1
5 方法概述 1
6 能量标校准步骤 2
参考文献 9
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准使用重新起草法修改采用ISO 17973-2002《表面化学分析 中等分辨率俄歇电子谱仪
元素分析用能量标校准》。
本标准与ISO 17973-2002技术差异及其原因如下:
---关于规范性引用文件,本标准做了具有技术性差异的调整,以适应我国的技术条件,调整的情
况集中反映在第2章“规范性引用文件”中,具体调整如下:
● 用GB/T 22461-2008代替ISO 18115-2001,IDT;
本标准还做了下列编辑性修改:
---将标准名称修改为《表面化学分析 中等分辨率俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准》;
---将缩略语、图、表、公式、附注等进行规范性修改。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:清华大学、厦门大学。
本标准主要起草人:姚文清、王水菊、张占男、牟豪杰、李展平、朱永法。
引 言
俄歇电子能谱(AES)广泛用于材料的表面分析。通过与手册的俄歇电子峰能量和形状比对,识别
样品所含除氢和氦以外的不同元素。通常能量标不确定度为3eV的校准就可确定峰的归属,本标准仅
适用于此准精确度水平的分析(更高的精确度可参考ISO 17974)。
本标准中指定动能标的校准方法用的是纯铜和纯铝(或纯金)等样品参考物质。因为缺陷对该准确
度水平的影响不明显,所以标准中不包含仪器缺陷的测试。
传统上俄歇电子动能参考真空能级,这种参考值仍被诸多分析者使用。然而真空能级不易确定,不
同仪器会相差0.5eV以上。尽管使用真空能级作为参考,通常不会导致元素归属的模糊,却会导致与
化学态有关的高分辨测量的不确定度。因此设计俄歇电子能谱和X射线光电子能谱仪器时,动能是以
费米能级为参考,比真空能级作参考高4.5eV。根据本标准使用者能够自由地选择适于其工作的参考
能级。
表面化学分析 中等分辨率俄歇电子能
谱仪 元素分析用能量标校准
1 范围
本标准规定了俄歇电子谱仪动能标不确定度为3eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另
外,还规定一种用于确定校准周期的方法。本标准适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于等于
0.5%,微分模式调制幅度的峰峰值为2eV。本标准适用于配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,
具有4keV或更高束能电子枪的谱仪。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 22461-2008 表面化学分析 词汇(ISO 18115:2001)
3 术语和定义
GB/T 22461-2008界定的术语和定义适用于本文件。
4 符号和缩略语
AES 俄歇电子能谱
a 测得的能量标误差
b 测得的零点偏移误差,以电子伏特(eV)为单位
Ecorr 校正Emeas后的动能结果,以eV为单位
Emeas 测得的动能,以eV为单位
Emeas,n 表1中对第n个峰测得的动能,以eV为单位
Eref,n 表1中第n个峰的动能参考值,以eV为单位
FWHM 半高峰宽,以eV为单位
W 峰的FWHM
Δn 偏移能量,对于(见表1)n=1,2,3,4的峰,由测量校准峰动能的平均减去参考动能值给
出,以eV为单位
△Ecorr 校正后对Emeas附加的校正,以提供校正的动能结果
β 模拟系统的能量标扫描速率,以电子伏特......
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