路径: 主页 > GB/T > 第393页 > GB/T 30858-2014 | 标准编号 | GB/T 30858-2014 (GB/T30858-2014) | | 中文名称 | 蓝宝石单晶衬底抛光片 | | 英文名称 | Polished mono-crystalline sapphire substrate product | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H83 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 21,229 | | 发布日期 | 7/24/2014 | | 实施日期 | 4/1/2015 | | 引用标准 | GB/T 1031; GB/T 1555; GB/T 2828.1; GB/T 6619; GB/T 6620; GB/T 6624; GB/T 13387; GB/T 14140; GB/T 14264; GB/T 19921; GB/T 30857 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第19号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证明书与订货单(或合同)内容。本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片(以下筒称蓝宝石衬底片)。 | GB/T 30858-2014
Polished mono-crystalline sapphire substrate product
ICS 29.045
H83
中华人民共和国国家标准
蓝宝石单晶衬底抛光片
2014-07-24发布
2015-04-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC
203/SC2)共同提出并归口。
本标准主要起草单位:协鑫光电科技控股有限公司、中国科学院上海光机所、浙江昀丰新能源科技
有限公司、浙江上城科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司。
本标准主要起草人:魏明德、黄朝晖、刘逸枫、杭寅、徐永亮、袁忠纯、蔡金荣。
蓝宝石单晶衬底抛光片
1 范围
本标准规定了蓝宝石单晶衬底抛光片的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存、质量证
明书与订货单(或合同)内容。
本标准适用于单面抛光蓝宝石衬底片(以下简称蓝宝石衬底片)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1031 产品几何技术规范(GPS)表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值
GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法
GB/T 6620 硅片翘曲度非接触式测试方法
GB/T 6624 硅抛光片表面质量目测检验方法
GB/T 13387 硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
GB/T 14140 硅片直径测量方法
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 19921 硅抛光片表面颗粒测试方法
GB/T 30857 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
3 术语和定义
GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
蓝宝石 sapphire
可以用来外延生长的、有确定晶向的人工生长单晶氧化铝材料。
3.2
衬底 substrate
用于生长硅、氮化镓或其他材料的抛光蓝宝石晶片。
3.3
当蓝宝石晶片的背面为理想平面时,在晶片表面的局部区域内,相......
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