路径: 主页 > GB/T > 第460页 > GB/T 31058-2014 | 标准编号 | GB/T 31058-2014 (GB/T31058-2014) | | 中文名称 | 电子工业用气体 四氟化硅 | | 英文名称 | Gases for electronic industry -- Silicon tetrafluoride | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 7,776 | | 发布日期 | 12/12/2014 | | 实施日期 | 7/1/2015 | | 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB 5099; GB 7144; GB 14194; GB 15258; GB 16804; GB/T 26571; GB/T 28726-2012; GB/T 28727 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第30号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 31058-2014
Gases for electronic industry - Silicon tetrafluoride
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体 四氟化硅
2014-12-22发布
2015-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:核工业理化工程研究院华核新技术开发公司、佛山市华特气体有限公司、绿菱电
子材料(天津)有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、贵州大学、西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人:邓建平、李于教、傅铸红、汤有伦、崔学文、方华、唐安江、周鹏云。
电子工业用气体 四氟化硅
1 范围
本标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。
本标准适用于萤石硫酸法、六氟硅酸盐热分解法、单质硅直接氟化法制备的四氟化硅。它主要用作
电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯
石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。
分子式:SiF4。
相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB 5099 钢质无缝气瓶
GB 7144 气瓶颜色标志
GB 14194 永久气体充装规定
GB l5258 化学品安全标签编写规定
GB 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726-2012 气体分析 氦离子化气相色谱法
GB/T 28727 气体分析 硫化物的测定 火焰光度气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
3 技术要求
四氟化硅的技术要求应符合表1的要求。
表1 技术指标
项 目 指 标
四氟化硅纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.99 99.9......
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