路径: 主页 > GB/T > 第393页 > GB/T 31092-2014 | 标准编号 | GB/T 31092-2014 (GB/T31092-2014) | | 中文名称 | 蓝宝石单晶晶锭 | | 英文名称 | Monocrystalline sapphire ingot | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H83 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 25,262 | | 发布日期 | 12/12/2014 | | 实施日期 | 9/1/2015 | | 引用标准 | GB/T 1554; GB/T 1555; GB/T 2828.1; GB/T 14264 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第30号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书、订货单(或合同)内容。本标准适用于蓝宝石单晶晶锭, 产品可用于制造氮化镓外延薄膜及其他用途的蓝宝石单晶衬底材料(以下简称晶锭)。 | GB/T 31092-2014
Monocrystalline sapphire ingot
ICS 29.045
H83
中华人民共和国国家标准
蓝宝石单晶晶锭
2014-12-22发布
2015-09-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 要求 1
5 检验方法 3
6 检验规则 4
7 标志、包装、运输、贮存和质量证明书 5
8 订货单(或合同)内容 6
附录A(规范性附录) 总杂质含量的测定方法 7
附录B(规范性附录) 位错密度测试方法 9
附录C(规范性附录) 双晶摇摆曲线的半峰宽值的检测方法 12
附录D(规范性附录) 局部光散射体、气泡、包裹物及散射颗粒检测方法 15
附录E(规范性附录) 镶嵌、孪晶的检测方法 18
附录F(规范性附录) 透光率检测方法 20
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:协鑫光电科技(江苏)有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、常州亿晶
光电科技有限公司、江苏吉星新材料有限公司、新疆紫晶光电技术有限公司。
本标准主要起草人:刘逸枫、魏明德、徐养毅、杭寅、吴剑波、蔡金荣、赵新俭。
蓝宝石单晶晶锭
1 范围
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存和质量证明书、
订货单(或合同)内容。
本标准适用于蓝宝石单晶晶锭,产品可用于制造氮化镓外延薄膜及其他用途的蓝宝石单晶衬底材
料(以下简称晶锭)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法
GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 14264 半导体材料术语
3 术语和定义
GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
蓝宝石 sapphire
可以用来外延生长的,有确定晶向的人工生长单晶氧化铝材料。
3.2
蓝宝石晶锭 sapphireingot
依特定轴向生长的晶体,通过机械加工后能满足切片的蓝宝石棒材。
3.3
总长度 totallength
晶锭测量的实际几何长度。
3.4
有效长度 effectivelength
晶锭实际长度中,去除晶锭内部缺陷后的几何长度。
4 要求
4.1 化学组......
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