路径: 主页 > GB/T > 第386页 > GB/T 31226-2014 | 标准编号 | GB/T 31226-2014 (GB/T31226-2014) | | 中文名称 | 扫描隧道显微术测定气体配送系统部件表面粗糙度的方法 | | 英文名称 | Standard test method for determination of surface roughness by scanning tunneling microscopy for gas distribution system components | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J04 | | 国际标准分类 | 17.040.20 | | 字数估计 | 16,149 | | 发布日期 | 9/30/2014 | | 实施日期 | 4/15/2015 | | 引用标准 | ASTM E691; ANSI B46.1-1985 | | 标准依据 | 中华人民共和国国家标准批准发布公告2014年第22号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了一种使用扫描隧道显微镜(STM)来分析气体配送系统部件表面粗糙度的方法。本标准适用于测定Ra小于0.25 μm的不锈钢表面粗糙度的表征。本标准不适用于不能产生隧道效应的厚氧化层钢铁。 | GB/T 31226-2014
Standard test method for determination of surface roughness by scanning tunneling microscopy for gas distribution system components
ICS 17.040.20
J04
中华人民共和国国家标准
扫描隧道显微术测定气体配送系统部件
表面粗糙度的方法
2014-09-30发布
2015-04-15实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准起草人:李慧琴、梁齐、路庆华、何丹农、张冰。
引 言
半导体净化室需要高纯气体配送系统的保障,本标准提供了一种用于此气体配送系统中一种或多
种部件的表面粗糙度评价方法。STM是一种非接触的表面轮廓测试方法,能够在纳米尺度范围内测试
样品的三维表面形貌,并能够表征表面结构和提供其评定参数。这种表面结构作为一种依据的测试方
法的应用,期望能得到不同部件表面粗糙度的比较数据,以得到高质量的气体体系净化配件。
定向刻蚀或导体涂层可以改善气体在表面的润湿性,本标准没有涉及。本标准假设STM 操作人
员已经掌握了仪器的原理、操作和假象。
本标准定义了一种标准数据表示格式,并提出了用STM 得到的数据来分析三维表面结构的评定
参数。
扫描隧道显微术测定气体配送系统部件
表面粗糙度的方法
1 范围
本标准规定了一种使用扫描隧道显微镜(STM)来分析气体配送系统部件表面粗糙度的方法。
本标准适用于测定Ra小于0.25μm的不锈钢表面粗糙度的表征。
本标准不适用于不能产生隧道效应的厚氧化层钢铁。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
ness,Waviness,andLay)]
3 术语和定义、符号和缩略语
3.1 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1.1
假象 artifact
非真实的表面形貌,包括震动,电子噪音,热漂移或不理想探针影响而形成的形貌。
3.1.2
中心线 centerline
图像中心线 graphicalcenterline
平行于测试轮廓方向的线,使得它和轮廓之间的面积在中心线两侧相等。
3.1.3
截取长度 cutofflength
lc
针对于本文中的轮廓线,即取样长度,也就是一个扫描长度,单位为纳米(nm)。
3.1.4
电流 current
本标准中指在特定条件下,流过探针......
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