路径: 主页 > GB/T > 第432页 > GB/T 31353-2014 | 标准编号 | GB/T 31353-2014 (GB/T31353-2014) | | 中文名称 | 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法 | | 英文名称 | Test methods for bow of sapphire substrates | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H21 | | 国际标准分类 | 77.040.99 | | 字数估计 | 8,831 | | 发布日期 | 12/31/2014 | | 实施日期 | 9/1/2015 | | 引用标准 | GB/T 2828.1; GB/T 6619; GB/T 14264 | | 标准依据 | 国家标准公告2014年第33号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 31353-2014
Test methods for bow of sapphire substrates
ICS 77.040.99
H21
中华人民共和国国家标准
蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
2014-12-31发布
2015-09-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布
机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、
北京合能阳光新能源技术有限公司。
本标准主要起草人:薛抗美、魏明德、黄修康、杭寅、林清香、肖宗杰。
蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
1 范围
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片(以下简称蓝宝石衬底片)弯曲度的测试方法。
本标准适用于直径50.8mm~304.8mm,厚度为不小于200μm的蓝宝石衬底片弯曲度的测试。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 2828.1 计数抽样检验程序 第1部分:按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划
GB/T 6619 硅片弯曲度测试方法
GB/T 14264 半导体材料术语
3 术语和定义
GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
弯曲度 bow
自由无夹持晶片中位面的中心点与中位面基准平面间的偏离。
3.2
由指定的小于晶片标称直径的直径圆周上的3个等距离点决定的平面。
4 方法提要
4.1 接触式测试
将蓝宝石衬底片放置在基准环的3个支点上,3支点形成一个基准平面,利用低压力位移指示器测
试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离,翻转衬底片,重复测试。两次测试值之差的一半表示衬底
片的弯曲度。
4.2 非接触式测试
将蓝宝石衬底片放置在基准环的3个支点上,3个支点形成一个基准平面,利用非接触式位移传感
器测试蓝宝石衬底片中心点偏离基准平面的距离,翻转衬底片,重复测试。两次测试值之差的一半表示
衬底片的弯曲度。
4.3 白光干涉式测试
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