路径: 主页 > GB/T > 第315页 > GB/T 3163-2007 | 标准编号 | GB/T 3163-2007 (GB/T3163-2007) | | 中文名称 | 真空技术 术语 | | 英文名称 | Vacuum technology -- Terminology | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J78 | | 国际标准分类 | 23.160 | | 字数估计 | 94,954 | | 发布日期 | 2007-12-02 | | 实施日期 | 2008-06-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 3163-1993 | | 采用标准 | ISO 3529-1981, MOD | | 标准依据 | 中国国家标准批准发布公告2007年第13号（总第113号） | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。 本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。 | GB/T 3163-2007
ICS ２３．１６０
J７８
中华人民共和国国家标准
GB/T ３１６３-２００７
代替GB/T ３１６３-１９９３
真空技术 术语
（ISO ３５２９：１９８１Ｖａｃｕｕｍｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ-Ｖｏｃａｂｕｌａｒｙ，ＭＯＤ）
２００７-１２-０２发布
２００８-０６-０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
１ 范围 １
２ 一般术语 １
３ 真空泵及有关术语 ６
４ 真空计 １３
５ 真空系统及有关术语 １９
６ 检漏及有关术语 ２５
７ 真空镀膜技术 ２７
８ 真空干燥和冷冻干燥 ３２
９ 表面分析技术 ３７
１０ 真空冶金 ４２
附录Ａ（资料性附录） 在采用国际单位制（ＳＩ制）之前使用的压力单位和换算系数 ４８
附录Ｂ（资料性附录） 符号表 ５０
附录Ｃ（资料性附录） 真空泵分类表 ５１
附录Ｄ（资料性附录） 本标准章条编号与ISO ３５２９：１９８１章条编号的对照一览表 ５２
附录Ｅ（资料性附录） 本标准与ISO ３５２９：１９８１的技术性差异 ５６
中文索引 ５７
英文索引 ７３
参考文献 ８９
GB/T ３１６３-２００７
前言
本标准修改采用ISO ３５２９-１：１９８１《真空技术 术语 第１部分：一般术语》（英文版）、ISO ３５２９-２：
１９８１《真空技术 术语 第２部分：真空泵及有关术语》（英文版）和ISO ３５２９-３：１９８１《真空技术 术
语 第３部分：真空计》（英文版）。
本标准对ISO ３５２９-１：１９８１、ISO ３５２９-２：１９８１和ISO ３５２９-３：１９８１进行了整合并重新起草。
在采用ISO ３５２９：１９８１《真空技术 术语》时，删除了国际标准的前言，考虑到技术的发展，本标准
增加了一些条款，也做了一些编辑上的修改：
ISO ３５２９-１：１９８１中的附录Ａ为本标准中的附录Ａ；
ISO ３５２９-１：１９８１中的附录Ｂ为本标准中的附录Ｂ；
ISO ３５２９-２：１９８１中的附录Ａ为本标准中的附录Ｃ；
ISO ３５２９-１：１９８１、ISO ３５２９-２：１９８１和ISO ３５２９-３：１９８１中的英文索引整合为本标准中的英文
索引。
本标准参考了ＤＩＮ２８４００《真空技术 术语及定义》的系列标准，增加了真空技术术语的章节。分
别是：
---第５章：真空系统及有关术语；
---第６章：检漏及有关术语；
---第７章：真空镀膜技术；
---第８章：真空干燥和冷冻干燥；
---第９章：表面分析技术；
---第１０章：真空冶金。
在附录Ｄ中列出了本标准章条编号与ISO ３５２９：１９８１《真空技术 术语》章条编号的对照一览表。
将有关技术性差异编入正文中并在它们所涉及的条目的页边空白处用垂直单线标识。在附录Ｅ中给
出了这些技术性的差异及其原因的一览表以供参考。
本标准增加了参考文献和中文索引。
本标准代替GB/T ３１６３-１９９３《真空技术 术语》。
本标准的附录Ａ、附录Ｂ、附录Ｃ、附录Ｄ、附录Ｅ均为资料性附录。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会（ＳＡＣ/TＣ１８）归口。
本标准起草单位：东北大学、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人：张世伟、王晓冬、巴德纯、张以忱、徐成海、王学智。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为：
---GB/T ３１６３-１９８２、GB/T ３１６３-１９９３。
GB/T ３１６３-２００７
真空技术 术语
１ 范围
本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检
漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。
本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。
２ 一般术语
２．１
温度：２０℃
相对湿度：６５％
干燥空气大气压力：１０１３２５Ｐａ＝１０１３．２５ｍｂａｒ
２．２
温度：０℃
压力：１０１３２５Ｐａ
２．３
用来描述低于大气压力或大气质量密度的稀薄气体状态或基于该状态环境的通用术语。
２．４
事实上根据一定的压力间隔，划分了不同的真空范围或真空度。而在选定真空度范围时，会有所不
同，下面所列为大致认可的典型真空度范围：
１０５Ｐａ～１０２Ｐａ 低（粗）真空
１０２Ｐａ～１０-１Ｐａ 中真空
１０-１Ｐａ～１０-５Ｐａ 高真空（ＨＶ）
＜１０-５Ｐａ 超高真空（ＵＨＶ）
２．５
ａ） 气体作用于表面上的压力 ｐｒｅｓｓｕｒｅｏｆａｇａｓｏｎａｂｏｕｎｄａｒｙｓｕｒｆａｃｅ
气体作用于表面上力的法向分量除以该面积（如果存在气体流动，规定表面方向与气体流动方向相
对应）。
ｂ） 气体中某一特定点的压力 ｐｒｅｓｓｕｒｅａｔａｓｐｅｃｉｆｉｅｄｐｏｉｎ......
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