路径: 主页 > GB/T > 第460页 > GB/T 31987-2015 | 标准编号 | GB/T 31987-2015 (GB/T31987-2015) | | 中文名称 | 电子工业用气体 锗烷 | | 英文名称 | Gas for electronic industry -- Germane | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 11,152 | | 发布日期 | 2015-09-11 | | 实施日期 | 2016-05-01 | | 引用标准 | GB 190; GB/T 3723; GB 5099; GB/T 5832.3; GB 7144; GB 14193; GB 15258; GB 16804; GB/T 26571; GB/T 28726; 气瓶安全监察规程(2000版); 危险化学品安全管理条例(2011版); 特种设备安全监察条例(2009版) | | 标准依据 | 国家标准公告2015年第25号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。分子式:GeH4。相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。 | GB/T 31987-2015
Gas for electronic industry - Germane
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体 锗烷
2015-09-11发布
2016-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布
机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:上海华爱色谱分析技术有限公司、佛山市华特气体有限公司、中昊光明化工研究
设计院有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人:方华、裴友宏、郭秀丽、林宇巍、陈熔、周鹏云。
电子工业用气体 锗烷
1 范围
本标准规定了锗烷的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运和安全。
本标准适用于氯化锗还原、电解氧化锗的硫酸溶液、锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品。
它用于化学试剂、制取高纯度锗、化学气相淀积、扩散、非晶硅、外延、离子注入等领域。
分子式:GeH4。
相对分子质量:76.662(按2011年国际相对原子质量计算)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分:光腔衰荡光谱法
GB 7144 气瓶颜色标志
GB 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2011版)
特种设备安全监察条例(2009版)
3 技术要求
锗烷的质量应符合表1的要求。
表1 技术指标
项 目 指 标
锗烷(GeH4)纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.999
氢(H2)含量(体积分数)......
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