路径: 主页 > GB/T > 第460页 > GB/T 32386-2015 | 标准编号 | GB/T 32386-2015 (GB/T32386-2015) | | 中文名称 | 电子工业用气体 六氟化钨 | | 英文名称 | Gases for electronic industry -- Tungsten hexafluoride | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 19,138 | | 发布日期 | 2015-12-31 | | 实施日期 | 2016-07-01 | | 标准依据 | 国家标准公告2015年第43号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 32386-2015
Gases for electronic industry - Tungsten hexaflouride
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体 六氟化钨
2015-12-31发布
2016-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究
设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。
本标准主要起草人:郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云。
电子工业用气体 六氟化钨
1 范围
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。
本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学
气相沉积工艺、钨材料的制备等。
分子式:WF6。
分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5275.10 气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第10部分:渗透法
GB 7144 气瓶颜色标志
GB 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
TJ36-79 工业企业设计卫生标准
气瓶安全监察规程(2000版)
危险化学品安全管理条例(2002版)
特种设备安全监察条例(2009版)
3 技术要求
六氟化钨的技术指标应符合表1要求。
表1 技术指标
项 目 名 称 指 标
六氟化钨(WF6)纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.9 99.999 ......
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