路径: 主页 > GB/T > 第746页 > GB/T 32386-2026 | 标准编号 | GB/T 32386-2026 (GB/T32386-2026) | | 中文名称 | 电子气体 六氟化钨 | | 英文名称 | Electronic gas - Tungsten hexafluoride | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 14,129 | | 发布日期 | 2026-04-30 | | 实施日期 | 2026-11-01 | | 旧标准 (被替代) | GB/T 32386-2015 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 32386-2026: 电子气体 六氟化钨
GB/T 32386-2026 英文版: Electronic gas - Tungsten hexafluoride
ICS 71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
代替GB/T 32386-2015
电子气体 六氟化钨
2026-04-30发布
2026-11-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件代替GB/T 32386-2015《电子工业用气体 六氟化钨》,与GB/T 32386-2015相比,除结
构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a) 更改了范围(见第1章,2015年版的第1章);
b) 更改了六氟化钨应符合的技术要求(见第4章,2015年版的第3章);
c) 更改了采样的要求(见第5章,2015年版的4.1.4);
d) 更改了纯度计算方法(见6.1,2015年版的4.2);
e) 更改了四氟化碳、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫含量的测定方法(见6.2,2015年
版的4.3);
f) 更改了四氟化硅、氟化氢含量的测定方法(见6.3,2015年版的4.3、4.4);
g) 更改了金属元素及其他元素含量的测定方法(见6.4,2015年版的4.5);
h) 更改了检验规则(见第7章,2015年版的4.1);
i) 更改了标志、包装、运输及贮存的要求(见8.1、8.2,2015年版的5.1);
j) 更改了安全信息(见8.3,2015年版的5.2)。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:昊华气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司、宁夏宝廷新材料科技股份有限
公司、昊华气体有限公司西南分公司、中国计量测试学会、湖北和远气体股份有限公司、天津绿菱气体股
份有限公司、大连华邦化学有限公司、北京普瑞分析仪器有限公司、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限
公司、三峡大学、贵州省产品质量检验检测院、浙江省化工研究院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限
公司、大特(成都)气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、四川凯发计量检测
有限公司、布鲁克(北京)科技有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、液化空气(中国)投资有限
公司、科哲(上海)阀门有限公司、大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司、宿州伊维特新材料有
限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、中国计量科学研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、沈阳
中复科金压力容器有限公司、和立气体(上海)有限公司、北京睿信捷环保科技有限公司、福建优力特材
料科技有限公司、中国计量大学、上海市计量测试技术研究院有限公司、爱尔兰 AGC仪器有限公司
北京代表处、天策标准化服务(天津)有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、大连光明化学工业气体质
量监测中心有限公司成都分公司、西南化工研究设计院有限公司。
本文件主要起草人:张金彪、曹素英、王瑜、李嘉磊、杨扬仲夫、程化鹏、吴旭飞、钟少勇、邸士强、
江罗、杜鹏举、张长金、滕鑫胜、袁有录、史兰、侯鹏、钱吉、钟卉菲、方华、娄珈元、邓海平、黄辉、王宾、
谭淇、尚柏羊、赵跃、刘英杰、房嵩、殷昊、王阳、牛迪、孙鑫、谈益强、尹乐乐、高静、张朋越、史婉君、胡树国、
马浩淼、吴国忠、王乐、李洪佳、宫兵、王大为、梁永强、赵洁、袁其龙、姜阳、王勇、任希辉、董志仪、王晓文、
何波、黄小强、赖晓峰、周鹏云、唐霞梅、王康茂。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
---2015年首次发布为GB/T 32386-2015;
---本次为第一次修订。
电子气体 六氟化钨
1 范围
本文件规定了六氟化钨的技术要求、采样、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求,描
述了相应的试验方法。
本文件适用于以氟或氟化物与钨为原料制备的六氟化钨。
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 技术要求
六氟化钨的技术要求应符合表1的规定,一级、二级及三级的六氟化钨还应增加金属元素及其他元
素的要求,金属元素及其他元素的要求应符合表2的规定。
5 采样
六氟化钨的采样应符合GB/T 43306的规定。
6 试验方法
6.1 六氟化钨纯度
6.1.1 一级、二级及三级六氟化钨纯度的计算
6.1.1.1 杂质总含量
杂质总含量按公式(1)计算:
6.1.1.2 纯度
六氟化钨纯度按公式(2)计算:
6.1.2.2 纯度
六氟化钨纯度按公式(4)计算:
6.2 四氟化碳、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫含量的测定
6.2.1 测定方法
按GB/T 28726规定的方法测定六氟化钨中的四氟化碳、氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化
硫含量。可采用其他等效的方法测定。当对测定结果有异议时,按 GB/T 28726规定的方法为仲裁
方法。
6.2.2 预分离柱
6.2.2.1 预分离柱Ⅰ:长3m、内径2mm的316L不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的改性
碳分子筛,或采用其他等效预分离柱。
6.2.2.2 预分离柱Ⅱ:长6m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm、固定液为三氟
氯乙烯的聚四氟乙烯单体,或其他等效色谱柱。
6.2.3 色谱柱
6.2.3.1 色谱柱Ⅰ:长1.5m、内径2mm 的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm 的5A分子
筛,或其他等效色谱柱。该柱用于测定氧+氩、氮、一氧化碳含量。
6.2.3.2 色谱柱Ⅱ:长2m、内径2mm的不锈钢管,内装粒径为0.18mm~0.25mm的高分子聚合物
(乙基苯乙烯和二乙烯基苯共聚物),或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳、四氟化碳、六氟化硫
含量。
6.2.4 标准样品
当测定四级的六氟化钨时,标准样品中组分含量应与被测试样中所对应的含量相近,平衡气为高纯
氦,应符合GB/T 4844的规定。
当测定一级、二级及三级的六氟化钨时,标准样品中组分(摩尔分数)含量宜为1×10-6~5×10-6,平
衡气为高纯氦,应符合GB/T 4844的规定。
6.2.5 参考的气路流程图
参考的气路流程示意图见附录A。
6.3 四氟化硅、氟化氢含量的测定
6.3.1 测定方法
按GB/T 46384.1规定的方法测定六氟化钨中四氟化硅、氟化氢含量。可采用其他等效的方法测
定。当对测定结果有异议时,以GB/T 46384.1规定的方法为仲裁方法。
6.3.2 测定条件
参考的测定条件如下。
---光程不低于5m。
---四氟化硅特征峰波数:1790cm-1~1840cm-1。
---氟化氢特征峰波数:3980cm-1~4120cm-1。
---分辨率:0.5cm-1~2cm-1。
---环境温度:18℃~25℃。
---环境相对湿度:≤60%。
---其他测定条件按照仪器说明书执行。
6.3.3 标准样品
6.3.3.1 测定六氟化钨中的四氟化硅含量时,宜有5种不同组分含量的气体标准样品,四氟化硅的含量
(摩尔分数)分别约为:0.1×10-6、0.5×10-6、1×10-6、5×10-6、10×10-6,平衡气为高纯氦,应符合
GB/T 4844的规定。
6.3.3.2 测定一级、二级、三级六氟化钨中的氟化氢含量时,宜有3种不同组分含量的气体标准样品,氟
化氢的含量(摩尔分数)分别约为:0.1×10-6、1×10-6、5×10-6,平衡气为高纯氦,应符合GB/T 4844
的规定。
6.3.3.3 测定四级六氟化钨中的氟化氢含量时,宜有5种不同组分含量的气体标准样品,氟化氢的含量
(摩尔分数)分别约为:50×10-6、100×10-6、300×10-6、500×10-6、1000×10-6,平衡气为高纯氦,应
符合GB/T 4844的规定。
6.4 金属元素及其他元素含量的测定
按GB/T 34972的规定执行。
6.5 尾气处理
测定时,应有尾气处理措施,防止六氟化钨对环境的污染。
7 检验规则
7.1 瓶装六氟化钨的抽样、判定和复验
7.1.1 同一生产线连续稳定生产的六氟化钨构成一批,每批产品质量不超过5t。
7.1.2 应按GB/T 8170规定的修约值比较法对测定结果的数值进行修约与极限数值的判定。
7.1.3 四级瓶装六氟化钨应按表3规定的抽样数量随机抽样检验。当所抽取样品中每一瓶的检验结
果均符合该级别的技术要求时,则判该批产品合格。当检验结果有任何一项指标不符合该级别的技术
要求时,则应自同批产品中重新加倍随机抽样检验,若检验结果符合该级别的技术要求,则判该批其余
产品均合格;若仍有任何一项指标不符合该级别的技术要求时,则判该批产品不合格。
7.1.4 其余级别的六氟化钨应逐一检验并验收。当检验结果均符合该产品相应级别的技术要求时,则
判该级别产品合格。当检验结果有任何一项指标不符合该产品相应级别的技术要求时,则判该级别产
品不合格。
7.2 集装格装及槽车装六氟化钨的抽样、判定
对于集装格装及槽车装六氟化钨产品,应逐一检验并验收。对于一级、二级及三级六氟化钨,当检
验结果均符合表1、表2的规定时,则判该产品合格。当检验结果不符合表1、表2的规定时,则判该产
品不合格。对于四级六氟化钨,当检验结果均符合表1的规定时,则判该产品合格。当检验结果不符合
表1的规定时,则判该产品不合格。
8 标志、包装、运输、贮存及安全信息
8.1 标志
8.1.1 六氟化钨出厂时应有产品质量合格证,其内容至少应包括:
---产品名称,生产厂名称,危险化学品生产许可证编号;
---生产日期或批号,以及保质期;
---充装质量(kg);
---本文件编号及六氟化钨的纯度。
8.1.2 包装容器上宜涂刷“电子气体 六氟化钨”字样。
8.1.3 六氟化钨的包装标志应符合GB 190的规定,颜色标志应符合GB/T......
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