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| 标准编号 | GB/T 32652-2016 (GB/T32652-2016) | | 中文名称 | 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料 | | 英文名称 | Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 国际标准分类 | 31.030 | | 字数估计 | 7,731 | | 发布日期 | 2016-04-25 | | 实施日期 | 2016-11-01 | | 引用标准 | GB/T 3284; GB/T 8946; JC/T 2027-2010; SJ/T 10380-2012 | | 标准依据 | 国家标准公告2016年第7号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。 |
GB/T 32652-2016
Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon
ICS 31.030
L90
中华人民共和国国家标准
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
2016-04-25发布
2016-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布
机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督检验所、江苏中
腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院。
本标准主要起草人:薄雷明、程尚栩、栾振祥、张存君、王祥、许振午、李建德、管琪、冯亚彬。
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
1 范围
本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运
输和贮存。
本标准适用于太阳能级多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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3 产品分类
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料按产品粒度分为熔融石英块料和熔融石英砂料。
4 技术要求
4.1 外观
熔融石英块料外观应为无色透明或半透明,无异色点。
4.2 灼烧失量
熔融石英料灼烧失量应小于0.05%。
4.3 粒度
熔融石英块料应大于或等于830μm;粒径小于83......
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