路径: 主页 > GB/T > 第526页 > GB/T 33838-2017 | 标准编号 | GB/T 33838-2017 (GB/T33838-2017) | | 中文名称 | 微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方法 | | 英文名称 | Microbeam analysis -- Scanning electron microscopy -- Methods of evaluating image sharpness | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 74,725 | | 发布日期 | 2017-05-31 | | 实施日期 | 2018-04-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 33838-2017
Microbeam analysis--Scanning electron microscopy--Methods of evaluating image sharpness
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
微束分析 扫描电子显微术
图像锐度评估方法
(ISO/T S24597:2011,IDT)
2017-05-31发布
2018-04-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 获取SEM图像的步骤 2
4.1 概述 2
4.2 试样 2
4.3 试样倾斜 2
4.4 视场选择 2
4.5 像素大小选择 3
4.6 图像亮度和衬度 4
4.7 图像衬噪比 4
4.8 图像聚焦和像散 6
4.9 外部因素干扰 6
4.10 错误衬度 6
4.11 SEM图像数据文件 6
5 SEM图像获取及图像区域选择 6
6 评估方法 6
6.1 概述 6
6.2 衬噪比 7
6.3 傅立叶变换(FT)法 7
6.4 衬度-梯度(CG)法 10
6.5 导数(DR)法 12
7 测试报告 14
7.1 概述 14
7.2 测试报告内容 14
附录A(规范性附录) 衬噪比(CNR)细节 15
附录B(规范性附录) 傅立叶变换(FT)法细节 19
附录C(规范性附录) 衬度-梯度(CG)法细节 32
附录D(规范性附录) 导数(DR)法细节 42
附录E(资料性附录) 评估图像锐度的背景 59
附录F(资料性附录) 各种评估方法的特征和适用性 63
附录G(资料性附录) 用于评估图像锐度的试样的制备方法 66
附录H (资料性附录) 测试报告示例 68
参考文献 70
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO/T S24597:2011《微束分析 扫描电子显微术 图像锐度评估方
法》。
与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下:
---GB/T 21636-2008 微束分析 扫描电子显微术 术语(ISO 22493:2008,IDT)。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位:中国科学技术大学物理学院。
本标准主要起草人:丁泽军、阮瞩。
微束分析 扫描电子显微术
图像锐度评估方法
1 范围
本标准规定了用于评估扫描电子显微镜(SEM)生成的数字图像锐度的3种方法:傅立叶变换(FT)
法、衬度-梯度(CG)法、导数(DR)法。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 27025-2008 检测和校准实验室能力的通用要求(ISO/IEC 17025:2005,IDT)
GB/T 27788-2011 微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则(ISO 16700:2004,IDT)
ISO 22493 微束分析 扫描电子显微术 术语 (Microbeam analysis-Scanningelectron micro-
scopy-Vocabulary)
3 术语和定义
GB/T 27788-2011和ISO 22493界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
像素 pixel
数字SEM图像中不可再分的最小成像单位。
3.2
像素大小 pixelsize
SEM图像中单位像素的试样长度,单位纳米(nm)。
注:水平和垂直方向的像素大小应一致。
3.3
二值SEM图像 binarySEMimage
转换后只有两个灰度级的SEM图像。
3.4
卷积图像 convolutedimage
二值SEM图像与二维高斯分布经卷积后所得的图像。
3.5
锐度因子 sharpnessfactor
用于生成卷积图像的高斯分布之标准差的两倍(2σ)。
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