路径: 主页 > GB/T > 第408页 > GB/T 34213-2017 | 标准编号 | GB/T 34213-2017 (GB/T34213-2017) | | 中文名称 | 蓝宝石衬底用高纯氧化铝 | | 英文名称 | High purity alumina for sapphire substrate | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H61 | | 字数估计 | 6,671 | | 发布日期 | 2017-09-07 | | 实施日期 | 2018-06-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34213-2017
High purity alumina for sapphire substrate
ICS 77.120.10
H61
中华人民共和国国家标准
蓝宝石衬底用高纯氧化铝
2017-09-07发布
2018-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位.四川鑫通新材料有限责任公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、四川鑫炬
新兴新光源材料有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司。
本标准主要起草人.钱幼平、熊洲、唐大林、薛抗美、黄修康、侯龙超、张强。
蓝宝石衬底用高纯氧化铝
1 范围
本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质
量证明书和订货单(或合同)内容等。
本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧
化铝可参照本标准执行。
高纯氧化铝的分子式为Al2O3,相对分子质量为101.96,晶型为α。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6609.22 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 取样
GB/T 6609.26 氧化铝化学分析方法和物理性能测定方法 有效密度的测定 比重瓶法
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 16418 颗粒系统术语
JC/T 2147 高纯氧化铝的痕量金属元素等离子体发射光谱检测方法
3 术语和定义
GB/T 14264和GB/T 16418界定的术语和定义适用于本文件。
4 要求
4.1 产品分类
高纯氧化铝按真密度一般可分为4类,如表1所示。
表1 高纯氧化铝分类
类别
真密度
g/cm3
主要生产方式
高纯氧化铝1类 ≥3.95 火焰法等
高纯氧化铝2类 ≥3.80~3.95 等离子法等
高纯氧化......
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