路径: 主页 > GB/T > 第107页 > GB/T 34697-2017 | 标准编号 | GB/T 34697-2017 (GB/T34697-2017) | | 中文名称 | 含氟蚀刻废液处理处置方法 | | 英文名称 | Treatment and disposal method for spent fluoric etchant | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | Z05 | | 国际标准分类 | 13.030.20 | | 字数估计 | 14,168 | | 发布日期 | 2017-11-01 | | 实施日期 | 2018-05-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34697-2017
Treatment and disposal method for spent fluoric etchant
ICS 13.030.20
Z05
中华人民共和国国家标准
含氟蚀刻废液处理处置方法
2017-11-01发布
2018-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国石油和化学工业联合会提出。
本标准由全国废弃化学品处置标准化技术委员会(SAC/TC294)归口。
本标准起草单位.杭州格林达化学有限公司、昆明培铭科技有限公司、常州清流环保科技有限公司、
深圳市中润水工业技术发展有限公司、四川省中明环境治理有限公司、深圳慧欣环境技术有限公司、重
庆蓝洁广顺净水材料有限公司、蓝保(厦门)水处理科技有限公司、江西核工业环境保护中心、浙江海翔
净水科技有限公司、天津理工大学、重庆大学、重庆新申世纪化工有限公司、中海油天津化工研究设计院
有限公司。
本标准主要起草人.尹云舰、赵红林、韩晓刚、李润生、何中明、黄崇坚、谷飞、陈嘉宾、杜兴胜、张怡、
李梅彤、陈玉英、陈建敏、郑怀礼、申静、弓创周。
含氟蚀刻废液处理处置方法
1 范围
本标准规定了含氟蚀刻废液组成、处理处置方法及环境保护要求。
本标准适用于TFT-LCD液晶显示屏玻璃蚀刻、光伏行业蚀刻、IC硅片蚀刻、电极箔蚀刻及稀土蚀
刻所产生含氟蚀刻废液的处理处置。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 5085.7 危险废物鉴别标准 通则
GB 8978 污水综合排放标准
GB 16297 大气污染物综合排放标准
GB 18599 一般工业固体废物贮存、处置场污染控制标准
GB/T 23936 工业氟硅酸钠
GB/T 27804 氟化钙
GB/T 28653 工业氟化铵
GB/T 28655 工业氟化氢铵
HG/T 4692 工业氟硅酸铵
HG/T 4693 工业氟硅酸钾
YS/T 691 氟化镁
3 含氟蚀刻废液组成
含氟蚀刻废液主要组成见表1。
表1 主要组成
项目
来源
TFT-LCD液晶显示屏玻璃蚀刻、
光伏行业蚀刻、IC硅片蚀刻废液
电极箔蚀刻废液 稀土蚀刻废液
氢氟酸(HF)w/% 1~10 1~10 5~15
氟硅酸(H2SiF6)w/% 5~15 - 3~10
盐酸(HCl)w/%......
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