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| 标准编号 | GB/T 35307-2017 (GB/T35307-2017) | | 中文名称 | 流化床法颗粒硅 | | 英文名称 | Granular polysilicon produced by fluidized bed method | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H82 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 6,667 | | 发布日期 | 2017-12-29 | | 实施日期 | 2018-07-01 | | 标准依据 | 国家标准公告2017年第32号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 35307-2017
Granular polysilicon produced by fluidized bed method
ICS 29.045
H82
中华人民共和国国家标准
流 化 床 法 颗 粒 硅
2017-12-29发布
2018-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位.江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限
公司、有色金属技术经济研究院、有研半导体材料有限公司、天津市环欧半导体材料技术有限公司、陕西
天宏硅材料有限责任公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司。
本标准主要起草人.刘晓霞、蒋立民、付治栋、鲁文锋、贺东江、李明峰、李咸江、银波、宗冰、程凤伶、
夏进京、张雪囡、尹敏、秦榕。
流 化 床 法 颗 粒 硅
1 范围
本标准规定了流化床法生产的颗粒硅的术语和定义、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运
输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以硅烷气为原料,采用流化床法生产的颗粒状多晶硅产品。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1558 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法
GB/T 14264 半导体材料术语
GB/T 14844 半导体材料牌号表示方法
GB/T 24581 低温傅立叶变换红外光谱法测量硅单晶中Ⅲ、Ⅴ族杂质含量的测试方法
GB/T 31854 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 35309 用区熔法和光谱分析法评价颗粒状多晶硅的规程
3 术语和定义
GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。
4 要求
4.1 牌号
颗粒硅的牌号表示按GB/T 14844的规定,可表示为.
表示生产方法,G表示硅烷法
PSi-
表示多晶硅......
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