路径: 主页 > GB/T > 第578页 > GB/T 36306-2018 | 标准编号 | GB/T 36306-2018 (GB/T36306-2018) | | 中文名称 | 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制指南 | | 英文名称 | Cleanrooms and associated controlled environments -- Guidelines for airborne chemical contamination control | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | C70 | | 国际标准分类 | 13.040.35 | | 字数估计 | 18,128 | | 发布日期 | 2018-06-07 | | 实施日期 | 2018-10-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 36306-2018
Cleanrooms and associated controlled environments--Guidelines for airborne chemical contamination control
ICS 13.040.35
C70
中华人民共和国国家标准
洁净室及相关受控环境
空气化学污染控制指南
2018-06-07发布
2018-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
中国国家标准化管理委员会 发 布
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 污染源、分级与分类 2
5 检测 2
6 空气化学污染控制 2
附录A(资料性附录) 微电子和光电子领域对空气化学污染物的分级与分类 3
附录B(资料性附录) 气相污染物监测与相关分析测定仪器 4
附录C(资料性附录) 控制化学分子污染设施系统 9
附录D(资料性附录) 微电子工业洁净室空气化学污染控制标准 11
参考文献 15
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本标准起草单位:南京天加环境科技有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州华
泰空气过滤器有限公司、苏州市计量测试研究所、爱美克空气过滤器(苏州)有限公司、中国电子工程设
计院、苏州市恩威特环境技术有限公司、中电投工程研究检测评定中心、苏州净化工程安装有限公司、北
京希达建设监理有限责任公司、北京世源希达工程技术公司、中国标准化协会、中天道成(苏州)洁净技
术有限公司、深圳新科特种装饰工程公司。
标准主要起草人:王尧、娄宇、李启东、朱兰、杨子强、蔡杰、王小兵、徐小浩、张利群、吴小泉、钱菁、
蒋乃军、石小雷、姜皓遐、耿文韬、吴益峰、翟传明、苏钢民、安志星、刘娜、殷晓冬。
引 言
从通风专业的角度来看空气化学污染物的特点是:
a) 颗粒度< 0.01μm 通常在0.2nm~5nm的范围;
b) 在通常状态下是以蒸汽或气体状存在;
c) 可以完全穿透常规高效过滤器/超高效过滤器;
d) 不能使用粒子计数器检测。
目前,空气污染控制技术主要针对微电子、光电子领域。
国际半导体设备与材料协会的标准SEMIF21-95将空气化学污染物分成四大类:酸性气体、碱性
气体、气相可凝聚化合物和气相掺杂化合物。但即使同类中的不同污染物之间性质差别还是很大,某些
污染物的浓度可随环境的温度、湿度变化而改变以及污染源有很大的随机性等,且品种、数量之多已是
不胜枚举。由于改性活性炭技术的进展,对于很多污染气体已能达到对症下药,实施针对性的控制空气
化学污染。在应用中,供应商提供的不仅仅是化学过滤器,而是根据现场环境的特点提供最有效的解决
方案。准确提供洁净室及相关受控环境中污染气体的品种和浓度的水平,将为过滤器供应商更合理的
选用充填介质的配方及配比创造条件,控制环境中的化学污染物达到所在环境限定的浓度值,最终将取
得更佳的净化效果。
洁净室及相关受控环境
空气化学污染控制指南
1 范围
本标准提出了洁净室及相关受控环境的空气化学污染控制的检测、控制等指南。
本标准适用于微电子、光电子工厂以及特殊需求的生产、研究等洁净室及相关受控环境的空气化学
污染控制。
本标准不适用于核能和军事应用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 25915.8-2010 洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级(ISO 14644-8:
2006,IDT)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
以气态或蒸汽态存在于洁净室及相关受控环境中,可危害产品、工艺、设备的分子(化学的、非颗粒)
物质。不包含生物大分子。
注:空气分子污染即空气化学污染。
3.2
综合监测腐蚀性气体对芯片的腐蚀程度的方法。
注:将环境反应采样片(ERCs)放在各个待测区域,如新风机组的进出口,循环风机组进出口等,时间是以30天为
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