路径: 主页 > GB/T > 第336页 > GB/T 39516-2020 | 标准编号 | GB/T 39516-2020 (GB/T39516-2020) | | 中文名称 | 微纳米标准样板（几何量） | | 英文名称 | Micro namo standard samples(geometric) | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J42 | | 国际标准分类 | 17.040.30 | | 字数估计 | 20,217 | | 发布日期 | 2020-11-19 | | 实施日期 | 2021-06-01 | | 引用标准 | GB/T 17163-2008; GB/T 25915.1-2010 | | 标准依据 | 国家标准公告2020年第26号 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。本标准适用于线间隔为0.05um～10um的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01um～100um的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm～1000um的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm～1000um的纳米线宽标准样板。 | GB/T 39516-2020
Micro nano standard samples (geometric)
ICS 17.040.30
J42
中华人民共和国国家标准
微纳米标准样板(几何量)
2020-11-19发布
2021-06-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 型式与基本参数 3
4.1 型式 3
4.2 基本参数 4
5 要求 5
5.1 外观 5
5.2 性能参数要求 5
6 检查条件 7
7 检查方法 7
7.1 外观 7
7.2 微纳米线间隔标准样板的性能参数 7
7.3 微纳米台阶高度标准样板的性能参数 10
7.4 纳米膜厚标准样板的性能参数 12
7.5 纳米线宽标准样板的性能参数 14
8 标志、运输及储存 15
8.1 标志 15
8.2 运输 16
8.3 储存 16
8.4 产品合格证 16
图1 线间隔示意图 1
图2 台阶高度示意图 2
图3 薄膜厚度定义示意图 2
图4 线宽示意图 2
图5 微纳米线间隔标准样板型式示意图 3
图6 微纳米台阶高度标准样板型式示意图 3
图7 纳米膜厚标准样板型式示意图 4
图8 纳米线宽标准样板型式示意图 4
图9 线间隔偏差有效测量区域选择示意图 8
图10 线边缘粗糙度考核位置示意图 9
图11 线边缘粗糙度示意图 9
图12 均匀性测量示意图 10
图13 台阶高度测量示意图 11
图14 台阶区域均匀性测量时测量线选取示意图 12
图15 薄膜厚度偏差考核示意图 13
图16 线宽偏差测量区域选择示意图 14
图17 线宽均匀性测量位置选择示意图 15
表1 微纳米线间隔标准样板的性能参数要求 5
表2 微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求 5
表3 纳米膜厚标准样板的性能参数要求 6
表4 纳米线宽标准样板的性能参数要求 6
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国量具量仪标准化技术委员会(SAC/TC132)归口。
本标准起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治
区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量
科技有限公司。
本标准主要起草人:李锁印、付兴昌、梁法国、韩志国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、姜志刚、许刚、
苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞。
微纳米标准样板(几何量)
1 范围
本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、
标志、运输及储存等。
本标准适用于线间隔为0.05μm~10μm的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为0.01μm~100μm
的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为2nm~1000nm的纳米膜厚标准样板和线宽为25nm~
1000nm的纳米线宽标准样板。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 17163-2008 几何量测量器具术语 基本术语
GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
3 术语和定义
GB/T 17163-2008界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
具有微纳米级线间隔、台阶高度、薄膜厚度、线宽几何特征结构的,可用于微纳米测量的标准样板。
3.2
线间隔
具有微纳米级准确度和均匀性、刻线间距P 不大于10μm的周期性刻线。以相邻同侧周期性刻线
边缘......
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