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| 标准编号 | GB/T 42597-2023 (GB/T42597-2023) | | 中文名称 | 微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪 | | 英文名称 | Micro-electromechanical systems technology - Gyroscopes | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L59 | | 国际标准分类 | 31.080.99 | | 字数估计 | 42,434 | | 发布日期 | 2023-05-23 | | 实施日期 | 2023-09-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 |
GB/T 42597-2023: 微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪
ICS 31.080.99
CCSL59
中华人民共和国国家标准
微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪
Part20:Gyroscopes,IDT)
2023-05-23发布
2023-09-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 基本评级和特征 1
4.1 陀螺仪的分类 1
4.2 绝对最大额定值 2
4.3 正常工作额定值 3
4.4 性能参数 3
5 测量方法 5
5.1 标度因数 5
5.2 交叉轴灵敏度 15
5.3 零偏 18
5.4 输出噪声 27
5.5 带宽 31
5.6 分辨率 36
附录A(资料性) 陀螺仪特性测量值的准确度 38
参考文献 39
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用IEC 62047-20:2014《半导体器件微机电器件 第20部分:陀螺仪》。
本文件做了下列最小限度的编辑性改动:
a) 为与现有标准协调,将标准名称改为《微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪》;
b) 纠正了IEC 62047-20:2014原文中的错误:更正了图18中宽带噪声范围的标注;
c) 纠正了IEC 62047-20:2014原文中的错误:更正了公式(20)和公式(21)的运算符号。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。
本文件起草单位:苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、工业和信息化部电子第
五研究所、东南大学、苏州市标准化协会、北京航天控制仪器研究所、华东光电集成器件研究所、四川富
生电器有限责任公司、中国合格评定国家认可中心、北京微元时代科技有限公司。
本文件主要起草人:沈俊杰、李根梓、顾枫、张硕、董显山、周再发、来萍、邢朝洋、王晓臣、张运昌、
王志远、闫桂珍。
微机电系统(MEMS)技术 陀螺仪
1 范围
本文件规定了陀螺仪的术语和定义、额定值、性能参数及测量方法。
陀螺仪主要用于消费电子、工业和航空航天等。陀螺仪广泛采用 MEMS和半导体激光器技术。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
转台 rotatingtable
速率转台 ratetable
测量过程中装载陀螺仪的旋转装置。
3.2
地球自转速率 earthrate
由于地球的自转而在惯性空间中产生的角速率。
注:根据国际地球自转和参考系统服务(IERS)的规定,地球在惯性空间中的角速率由恒星日定义,为23小时56分
钟4.098903691秒。因此,地球在惯性空间中的角速率约为15.04°/h。有关定义的详细信息,请参阅IERS网
站(http://www.iers.org)。
3.3
标度因数 scalefactor
陀螺仪输出电压或输出数字信号与加载角速率的比值,单位为V/[(°)/s]或bit/[(°)/s]。
4 基本评级和特征
4.1 陀螺仪的分类
表1为按应用领域分类的陀螺......
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