路径: 主页 > GB/T > 第392页 > GB/T 43662-2024 | 标准编号 | GB/T 43662-2024 (GB/T43662-2024) | | 中文名称 | 蓝宝石图形化衬底片 | | 英文名称 | Patterned sapphire substrate | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H83 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 22,229 | | 发布日期 | 2024-03-15 | | 实施日期 | 2024-10-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 43662-2024: 蓝宝石图形化衬底片
ICS 29.045
CCSH83
中华人民共和国国家标准
蓝宝石图形化衬底片
2024-03-15发布
2024-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:广东中图半导体科技股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、
华灿光电(浙江)有限公司、黄山博蓝特半导体科技有限公司、北京大学东莞光电研究院、云南蓝晶科技
有限公司、南京理工宇龙新材料科技股份有限公司、通辽精工蓝宝石有限公司、苏州恒嘉晶体材料有限
公司。
本文件主要起草人:张能、贺东江、张小琼、李素青、肖桂明、王子荣、朱广敏、康凯、刘建哲、丁晓民、
王新强、何永杰、戴生伢、闫殿军、徐永亮。
蓝宝石图形化衬底片
1 范围
本文件规定了蓝宝石图形化衬底片(以下简称“衬底”)的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包
装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。
本文件适用于蓝宝石图形化衬底片的研发、生产、测试、检验及性能质量的评价。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
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3 术语和定义
GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
图形化衬底 patternedsubstrate
通过光刻或压印图形掩膜工艺,再经等离子体刻蚀技术,制成的表面具有一系列类圆锥体的周期性
阵列排布的微纳米图形结构的衬底。
注:图形化衬底用于提升氮化镓发光二极管的光电性......
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