路径: 主页 > GB/T > 第170页 > GB/T 44926-2024 | 标准编号 | GB/T 44926-2024 (GB/T44926-2024) | | 中文名称 | 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法 | | 英文名称 | Nanotechnologies - Characterization of micro surface and sub surface - Optical dark-field confocal microscopy | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N51 | | 国际标准分类 | 17.040.30 | | 字数估计 | 22,249 | | 发布日期 | 2024-12-31 | | 实施日期 | 2025-07-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 44926-2024: 纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法
ICS 17.040.30
CCSN51
中华人民共和国国家标准
纳米技术 微区表面及亚表面表征
光学暗场共焦显微法
2024-12-31发布
2025-07-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 原理 2
5 设备配置及测量条件 4
6 测量步骤 4
7 数据处理 5
8 结果表征 6
9 影响表征结果的因素 6
10 测试报告 7
附录A(规范性) 暗场散射共焦模块 8
附录B(资料性) 光学暗场共焦显微镜测量结果倾斜矫正方法 9
附录C(资料性) 光学暗场共焦显微镜亚表面测量介质校正系数计算方法 11
附录D(资料性) 钕玻璃光学暗场共焦显微测量结果示例 13
附录E(资料性) 亚表面台阶高度测量结果示例 15
参考文献 16
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国科学院提出。
本文件由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:哈尔滨工业大学、中国计量科学研究院、昆明物理研究所、西安应用光学研究所、
北京微电子技术研究所、航天科工防御技术研究试验中心。
本标准主要起草人:刘俭、施玉书、刘辰光、张树、胡旭、张云龙、李冬梅、冯慧。
引 言
微纳器件及高端光学元件的表面及亚表面质量控制是产品性能和使用寿命的重要影响因素。对微
区表面及亚表面微米及纳米尺度特征结构进行有效表征,是提升微纳加工及超精密加工机理探索、工艺
定型和量产质控能力的重要保障,在超光滑光学元件、微光学器件、半导体材料等领域具有广泛应用
需求。
光学暗场共焦显微镜能够实现对样品微区表面和亚表面微弱暗场散射信号的三维高效探测,本文
件的制定为使用光学暗场共焦显微镜表征光学透明固体材料的表面及亚表面特征结构提供了规范统一
的方法,有利于提升高性能器件的检测水平,为精密光学元件及微纳器件加工生产质控及新工艺研发提
供检测保障。
纳米技术 微区表面及亚表面表征
光学暗场共焦显微法
1 范围
本文件描述了采用光学暗场共焦显微镜对微区表面及亚表面的表征方法。
本文件适用于固体材料。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
GB/T 34879-2017 产品几何技术规范(GPS) 光学共焦显微镜计量特性及测量不确定度评定
导则
3 术语和定义
GB/T 34879-2017界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
亚表面 subsurface
固体材料表面以下具有光学透明度的区域。
注:通常深度在百微米以内。
3.2
共焦显微术 confocalmicroscopy;CM
采用约束性照明和约束性探测,借助轴向扫描获得光学层析图像,并通过提取轴向最大信号位置确
定区域样品表面形状的测量方法。
[来源:GB/T 34879-2017,3.1]
3.3
基于共焦显微术原理,采用环形光场约束性照明和孔径匹配约束性探测,获取样品表面及亚表面区
域暗场散射信号,并借助轴向扫描获得样品三维层析图像的光学仪器。
3.4
轴向包络 axialenvelope
所......
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